少子寿命测试仪MDPmap

少子寿命测试仪MDPmap

参考价:面议
型号: MDPmap
产地: 其他
品牌: Freiberg Instruments
评分:
核心参数
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产品详情


产品性能

灵敏度: 对外延层监控和不可见缺陷检测,

具有可视化测试的最高分辨率

测试速度: < 5 minutes,6英寸硅片, 1mm分辨率

寿命测试范围: 20ns到几ms

玷污测试: 产生于坩埚和生产设备中的金属沾污(Fe)

测试能力: 从切割的晶元片到所有工艺中的样品

灵活性: 允许外部激发光与测试模块进行耦合

可靠性: 模块化紧凑型台式检测设备,使用时间 > 99%

重复性: > 99.5%

电阻率: 无需时常校准的电阻率面扫描

常规寿命测试

无接触且非破坏的少子寿命成像测试: (μPCD/MDP(QSS),光电导率,电阻率和p/n型检测 符合半导体行业标准 SEMI PV9-1110

最多可集成4个不同波长光源,具有大范围可调的光注入水平,可对单点进行少子寿命的瞬态测试,

可对单点进行少子寿命的瞬态测试,也可对晶圆片进行面扫


应用案例

铁浓度测定

陷阱浓度测试

硼氧浓度测试

受注入浓影响的测试


MDPStudio

用户友好的高级操作软件:


导入和导出功能

多级用户账户管理

所有已执行操作总览界面

样品参数输入

单点测试,例如受注入

影响的测试原始数据获取

面扫描选项

菜单选项

分析功能包

线扫描和单点瞬可视化测试




远程操控:基于IP系统,允许在任何地方进行远程操控和技术支持

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售后服务
  • 产品货期: 30天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训
  • 安装调试时间: 到货后3天内
  • 电话支持响应时间: 6小时内
  • 是否提供维保合同:
  • 维修响应时间: 3天内
  • 节假日是否提供上门服务:
  • 是否支持上门巡检:
  • 是否提供预防性维护计划:
  • 是否提供期间核查方案:
  • 是否提供免费应用支持:
  • 是否提供付费应用支持:
  • 维修付款方式: 先维修后付款

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