型号: | NanoWriter |
产地: | 德国 |
品牌: | POLOS |
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POLOS NanoWriter是一款多功能紫外激光书写器,具有高精度组件,专为用户提供在光敏层中创建微结构的最高自由度。
分辨率:0.8 - 2.5µm(5µm可选)
波长:405或375纳米
最大基材尺寸:110 × 110毫米
POLOS NanoWriter包括一个405 nm的光学模块,能够在光刻胶层中写入小至0.8微米的结构。这个用户友好的工具支持高达4095级的灰度或纯二进制模式,并允许2.5D光学结构,表面结构以及掩模项目。实时激光控制自动对焦和激光强度控制,确保整个曝光过程中的高质量成像。控制电子设备都安装在框架内,除了控制PC。这个基于微软windows的桌面PC和所有需要的软件都包含在包中。
好处
高品质,低成本的无掩模光刻工具
375nm源可用于i-Line电阻
市场符合0.8µm分辨率
紧凑的光模块:使用一个备用光单元,减少机器停机时间
用户友好的操作
支持高达4“x4”的基板
宽度:580mm
高度:708mm
深度:600mm(不含可选风道)
重量:260kg
压缩空气:5 - 7bar,空气质量符合ISO8573-1:2010 3级或以上
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