型号: | Micro Writer ML3 |
产地: | 美国 |
品牌: | Durham Magneto Optic |
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小型台式无掩膜光刻机- MA1200
小型台式无掩膜光刻机- MicroWriter ML3是英国公司专为实验室设计开发,为微流控、SAW、半导体、自旋电子学等研究领域提供方便高效的微加工方案。
传统的光刻工艺中所使用的铬玻璃掩膜板需要由专业供应商提供,但是在研发环境中,掩膜板的设计通常需要经常改变。无掩膜光刻技术通过以软件设计电子掩膜板的方法,克服了这一问题。与通过物理掩膜板进行光照的传统工艺不同,激光直写是通过电脑控制一系列激光脉冲的开关,在光刻胶上直接曝光绘出所要的图案。
MA1200 是一款多功能激光直写光刻系统,具有结构小巧紧凑(70cm x 70cm x 70cm),无掩膜直写系统的灵活性,还拥有高直写速度,高分辨率的特点。采用集成化设计,全自动控制,可靠性高,操作简便。适用于各种实验室桌面。
产品特点
Focus Lock自动对焦功能 | 光学轮廓仪 |
标记物自动识别 | 直写前预检查 |
简单的直写软件 | Clewin 掩膜图形设计软件 |
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