超高真空低温恒温器研制

成果名称

超高真空低温恒温器

单位名称

中科院物理研究所

联系人

郇庆

联系邮箱

qhuan_uci@yahoo.com

成果成熟度

√正在研发 □已有样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产

合作方式

√技术转让   √技术入股   □合作开发  √其他

成果简介：
   

    针对SPM等振动敏感设备所设计的一款可在超高真空环境下工作的低温恒温器。设计运用有限元分析方法进行模拟和仿真，力求达到最低的漏热和振动，最大化低温制冷剂使用效率。尚在研发中，主要技术指标待测。

应用前景：
     在电子输运测量、磁性测量、拉曼光谱、X射线衍射、SPM等诸多实验过程中，都需要用到低温环境，其中很多测量还对真空度、振动等提出了更苛刻的要求。该设备针对机械振动进行了优化设计，同时兼容超高真空环境，适用于SPM系统以及光学光谱等应用，国内每年需求量在数十台至上百台。

知识产权及项目获奖情况：
         发明专利：201510345910.8