东方晶源举行表彰大会，庆祝关键尺寸量测设备顺利出机

近日，东方晶源举行百日会战战区总结表彰大会，对做出突出贡献的个人和团队给予嘉奖。本次表彰大会主要针对电子束装备战区和HPO软件战区，此次百日会战成功实现了关键尺寸量测设备（CD-SEM）的顺利出机、EBI和CD-SEM配套软件的研发升级和从0到1完成离线数据分析系统oDAS的研发。

据了解，东方晶源微电子科技（北京）有限公司成立于2014年，总部位于北京亦庄经济技术开发区，是一家专注于集成电路良率管理的企业。今年7月份，东方晶源实现了国内首台关键尺寸量测设备（CD-SEM）出机中芯国际，标志东方晶源继2019年攻克电子束缺陷检测技术后，再一次取得了重大产品技术突破，填补了国内关键尺寸量测设备（CD-SEM）的市场空白。

东方晶源的关键尺寸量测设备（型号：SEpA-c410）面向300mm硅片工艺制程，通过先进的电子束成像系统和高速硅片传输方案，搭配精准的量测算法，可实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键尺寸量测。进驻中芯国际后，将通过实际产线验证，进一步提升、完善设备性能，向产业化目标整体迈进。

而离线数据分析系统oDAS集数据的创建、传输、管理、分析和监控于一体，可实现Fab客户在工艺开发阶段对数据进行智能化管理和处理，是效率和良率提升的关键软件之一。