浸润式光刻之父辞职

力积电早前发出公告，公司独立董事暨薪酬委员会委员林本坚因个人业务繁忙，辞任独立董事与薪酬委员会职务，这项人事案将于4月27日起生效。

力积电指出，林本坚于2021年7月2日当选独立董事，原任期将在明年5月26日才截止，不过这次异动仍引发半导体业界讨论。

现年80岁的林本坚目前仍是中研院院士、清大特聘讲座教授，并担任清大半导体学院院长，林在台积电研发副总任内因为研发出浸润式微影技术、改写全球半导体发展史，让台积电甩开与英特尔、三星的距离。

2015年，林本坚从台积电退休时，台积电创办人张忠谋为他举办的晚会上发表感言，张忠谋特别说：「假如没有你和你所建立的团队，台积电的微影不会有今天这规模。」肯定了林本坚过去在台积电15年难以被取代的建树。

林本坚发明的浸润式微影技术，也让艾司摩尔放弃原先157奈米干式微影曝光机的研发，转向与台积电共同开发193纳米浸润式微影机台，此外，IBM、比利时微电子研究中心（Imec）等都改用此项技术。

林本坚这项重大的发明，影响了半导体产业长达20年的发展，是台湾半导体史上关键的一击。