仪器对比
关注
样本下载
- 0.95英寸，1920X1080
- 300mmX300mm
- 1024阶
- 0.5um
- ±0.5um
- 0-15mm
- 选配
- 选配
- 1540mmX1120mmX1900mm
- 1750kg；1500w
MiScan
型号：MiScan-200/MiScan-200UV/MiScan-Pro
核心参数
曝光模式：扫描式曝光
产地类别：中国
光源：355 nm/LD405/LED405（选配）
运动平台：直线电机150mmX150mm/直线电机气浮结构：300mmX300mm
图形发生器：0.95英寸（1920X1080）
环控系统：0.1℃，百级净化
灰度等级：1024阶
幅面尺寸：10”基底
数据分辨率：0.5um/0.25um/0.1um
套刻对准精度:±0.5um
背对准系统：选配
*规格参数因具体工艺差异有所不同
240天
1年
安装调试现场免费培训
到货后7天内
24小时内
是
3天内
是
是
是
否
是
否
是
先付款后维修
不支持
相关产品
