各大学5亿元光刻设备采购意向汇总
导读：仪器信息网特汇总统计了10月份以来，高校院所的光刻设备相关的采购意向，含激光直写设备和电子束曝光机，总预算超5亿元。
近日，科学仪器行业迎来了前所未有的利好消息。2022年9月13日，国务院常务会议决定对部分领域设备更新改造贷款阶段性财政贴息和加大社会服务业信贷支持，政策面向高校、职业院校、医院、中小微企业等九大领域的设备购置和更新改造。贷款总体规模预估为1.7万亿元。
2022年9月28日，财政部、发改委、人民银行、审计署、银保监会五部门联合下发《关于加快部分领域设备更新改造贷款财政贴息工作的通知》（财金〔2022〕99号），对2022年12月31日前新增的10个领域设备更新改造贷款贴息2.5个百分点，期限2年，额度2000亿元以上。因此今年第四季度内更新改造设备的贷款主体实际贷款成本不高于0.7%（加上此前中央财政贴息2.5个百分点）。
这两大重磅政策提供极低利息的贷款给消费端提前进行设备购置和更新改造，推动我国仪器市场迎来新一波仪器采购大潮。仪器信息网注意到，10月份以来，各大高校发布了众多半导体设备采购意向。仪器信息网特汇总统计了光刻设备相关的采购意向，含激光直写设备和电子束曝光机，总预算超5亿元。
光刻设备相关的采购意向汇总
| 序号 | 项目名称 | 预算金额(万元) | 采购单位 | 发布时间 | 预计采购时间 | 查看 |
| 1 | 电子束光刻机 | 3000 | 清华大学 | 2022/10/7 14:09 | Nov-22 | 意向原文 |
| 2 | 飞秒激光三维直写系统 | 400 | 清华大学 | 2022/10/7 14:09 | Nov-22 | 意向原文 |
| 3 | 激光直写设备 | 600 | 清华大学 | 2022/10/7 14:09 | Nov-22 | 意向原文 |
| 4 | 接触式光刻机 | 700 | 清华大学 | 2022/10/7 14:09 | Nov-22 | 意向原文 |
| 5 | 步进式光刻机 | 3000 | 清华大学 | 2022/10/8 8:29 | Nov-22 | 意向原文 |
| 6 | 自旋科技研究院购置电子束曝光系统项目 | 498 | 华南理工大学 | 2022/10/8 16:35 | Nov-22 | 意向原文 |
| 7 | 聚焦离子束-电子束曝光系统(FIB-EBL) | 820 | 哈尔滨工程大学 | 2022/10/9 17:08 | Nov-22 | 意向原文 |
| 8 | 集成电路学院激光直写光刻机采购 | 452.9 | 中山大学 | 2022/10/10 15:57 | Nov-22 | 意向原文 |
| 9 | 集成电路学院接触式光刻机（微米级）采购 | 357.7 | 中山大学 | 2022/10/10 15:57 | Nov-22 | 意向原文 |
| 10 | 电子束光刻系统 | 1200 | 华南理工大学 | 2022/10/10 17:23 | Nov-22 | 意向原文 |
| 11 | 化学化工学院双光子三维激光直写系统设备采购项目 | 400 | 兰州大学 | 2022/10/10 21:24 | Nov-22 | 意向原文 |
| 12 | 电子束光刻系统 | 1200 | 华南理工大学 | 2022/10/12 8:40 | Nov-22 | 意向原文 |
| 13 | 电子与信息工程学院步进式光刻机采购项目 | 4300 | 中山大学 | 2022/10/13 10:55 | Nov-22 | 意向原文 |
| 14 | 电子与信息工程学院接触式曝光机采购项目 | 330 | 中山大学 | 2022/10/13 10:55 | Nov-22 | 意向原文 |
| 15 | 电子与信息工程学院无掩模板紫外光刻机采购项目 | 216 | 中山大学 | 2022/10/13 10:55 | Nov-22 | 意向原文 |
| 16 | 电子与信息工程学院无掩膜激光直写曝光机采购项目 | 500 | 中山大学 | 2022/10/13 10:55 | Nov-22 | 意向原文 |
| 17 | 中国药科大学微纳米光刻机（精密对位曝光系统）项目 | 230 | 中国药科大学 | 2022/10/13 14:28 | Nov-22 | 意向原文 |
| 18 | 光刻机 | 3465 | 北京化工大学 | 2022/10/13 15:52 | Nov-22 | 意向原文 |
| 19 | 微立体光刻精密加工系统 | 260 | 吉林大学 | 2022/10/13 17:47 | Nov-22 | 意向原文 |
| 20 | 材料学院紫外光刻机采购项目 | 180 | 中山大学 | 2022/10/13 22:58 | Nov-22 | 意向原文 |
| 21 | 扫描电子显微镜FEI Quanta450-电子束曝光升级模块 | 147.6 | 中山大学 | 2022/10/13 22:58 | Nov-22 | 意向原文 |
| 22 | 超高分辨率的电子束光刻（EBL）采购项目 | 1600 | 中山大学 | 2022/10/14 9:01 | Nov-22 | 意向原文 |
| 23 | 激光直写式光刻机 | 160 | 吉林大学 | 2022/10/14 11:51 | Nov-22 | 意向原文 |
| 24 | 激光无掩膜光刻系统 | 200 | 中山大学 | 2022/10/14 16:27 | Dec-22 | 意向原文 |
| 25 | 物理科学与技术学院紫外光刻机 | 45 | 兰州大学 | 2022/10/14 16:51 | Nov-22 | 意向原文 |
| 26 | 物理学院/部门+光刻机采购项目 | 23 | 兰州大学 | 2022/10/14 16:51 | Nov-22 | 意向原文 |
| 27 | 紫外掩膜曝光光刻机采购 | 200 | 中山大学 | 2022/10/14 19:14 | Nov-22 | 意向原文 |
| 28 | 分析测试中心无掩模激光直写系统采购项目 | 460 | 北京理工大学 | 2022/10/17 13:59 | Dec-22 | 意向原文 |
| 29 | 电子束光刻系统 | 1200 | 华南理工大学 | 2022/10/18 8:25 | Nov-22 | 意向原文 |
| 30 | 光刻机 | 380 | 华中科技大学 | 2022/10/18 17:33 | Nov-22 | 意向原文 |
| 31 | 无掩膜光刻 | 200 | 华中科技大学 | 2022/10/18 17:33 | Nov-22 | 意向原文 |
| 32 | 掩膜对准光刻机 | 380 | 华中科技大学 | 2022/10/18 17:33 | Nov-22 | 意向原文 |
| 33 | 电子束光刻机 | 500 | 山东大学 | 2022/10/18 22:01 | Nov-22 | 意向原文 |
| 34 | 分子束外延（MBE）系统真空电子束曝光（EBL）系统采购 | 1800 | 华南理工大学 | 2022/10/19 8:23 | Nov-22 | 意向原文 |
| 35 | 聚焦电子束光刻系统 | 640 | 东北师范大学 | 2022/10/20 11:15 | Nov-22 | 意向原文 |
| 36 | 8寸光刻机 | 600 | 东南大学 | 2022/10/20 16:00 | Nov-22 | 意向原文 |
| 37 | 激光直写曝光系统 | 450 | 浙江大学 | 2022/10/25 14:17 | Nov-22 | 意向原文 |
| 38 | DUV塔尔博特光刻 | 680 | 同济大学 | 2022/10/25 20:43 | Dec-22 | 意向原文 |
| 39 | 电子束光刻机 | 3500 | 同济大学 | 2022/10/25 20:43 | Dec-22 | 意向原文 |
| 40 | 激光直写设备 | 750 | 同济大学 | 2022/10/25 20:43 | Dec-22 | 意向原文 |
| 41 | 双面对准光刻机 | 450 | 同济大学 | 2022/10/25 20:43 | Dec-22 | 意向原文 |
| 42 | 光刻机 | 420 | 华中科技大学 | 2022/10/28 14:30 | Dec-22 | 意向原文 |
| 43 | 掩膜对准光刻机 | 420 | 华中科技大学 | 2022/10/28 14:30 | Dec-22 | 意向原文 |
| 44 | 电子束曝光系统 | 297 | 北京大学 | 2022/10/28 15:04 | Dec-22 | 意向原文 |
| 45 | 高分辨掩膜光刻机采购 | 390 | 西南大学 | 2022/11/1 20:27 | Dec-22 | 意向原文 |
| 46 | 中国科学院大学集成电路学院计算光刻软件采购项目 | 140 | 中国科学院大学 | 2022/11/2 16:21 | Nov-22 | 意向原文 |
| 47 | 超高精密微立体光刻加工系统 | 279 | 厦门大学 | 2022/11/2 17:01 | Dec-22 | 意向原文 |
| 48 | 双光子灰度对准光刻机 | 690 | 天津大学 | 2022/11/3 13:24 | Dec-22 | 意向原文 |
| 49 | 无掩膜光刻机 | 320 | 天津大学 | 2022/11/3 13:24 | Dec-22 | 意向原文 |
| 50 | 电子束曝光机维保 | 160 | 中国科学院微电子研究所 | 2022/11/3 19:55 | Nov-22 | 意向原文 |
| 51 | 光刻机 | 360 | 吉林大学 | 2022/11/4 8:26 | Dec-22 | 意向原文 |
| 52 | 物理学院原位光谱激光直写加工系统 | 600 | 北京航空航天大学 | 2022/11/5 12:57 | Dec-22 | 意向原文 |
| 53 | 高精度电子束曝光机 | 870 | 北京师范大学 | 2022/11/7 18:55 | Dec-22 | 意向原文 |
| 54 | 集成电路学院电子束曝光机采购 | 1400 | 中山大学 | 2022/11/9 15:51 | Dec-22 | 意向原文 |
| 55 | TX-电子束曝光（EBL） | 1800 | 华中科技大学 | 2022/11/9 18:22 | Dec-22 | 意向原文 |
| 56 | TX-对准光刻与晶圆键合机 | 490 | 华中科技大学 | 2022/11/9 18:22 | Dec-22 | 意向原文 |
| 57 | TX-高精度无掩膜光刻机 | 500 | 华中科技大学 | 2022/11/9 18:22 | Dec-22 | 意向原文 |
| 58 | TX-晶圆划片道直写填充装备 | 420 | 华中科技大学 | 2022/11/9 18:22 | Dec-22 | 意向原文 |
| 59 | TX-深紫外光刻机(DUV) | 4200 | 华中科技大学 | 2022/11/9 18:22 | Dec-22 | 意向原文 |
| 60 | 激光直写光刻机 | 400 | 浙江大学 | 2022/11/10 14:56 | Dec-22 | 意向原文 |
| 61 | 面向国家“卡脖子”技术需求的工业芯片设计与制造全流程技术平台--X-射线衍射仪、紫外光刻机、步热分析仪 | 500 | 东北大学 | 2022/11/10 18:35 | Dec-22 | 意向原文 |
| 62 | 台式微纳结构高速直写系统 | 180 | 华东师范大学 | 2022/11/11 8:46 | Nov-22 | 意向原文 |
来源于：仪器信息网
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