微小尺度、无损检测将是未来半导体表征技术的发展方向—访牛津仪器马岚博士

近日，牛津仪器科技（上海）有限公司参展了第十三届纳博会。展会现场，仪器信息网就解决方案、市场热点、技术发展等话题采访了牛津仪器科技（上海）有限公司应用科学家马岚博士。据介绍，本次展会牛津仪器带来了刻蚀、原子层沉积、电镜相关的能谱等仪器设备以及快速光谱分析第三代半导体注入掺杂浓度等解决方案......更多观点请查看视频

以下是对牛津仪器科技（上海）有限公司应用科学家马岚的现场采访视频：

2022年3月1-3日，由科技部、中国科学院指导，中国微米纳米技术学会、中国国际科学技术合作协会、国家第三代半导体技术创新中心（苏州）主办，苏州纳米科技发展有限公司承办的第十三届中国国际纳米技术产业博览会（CHInano 2023）在苏州国际博览中心举行。

本届纳博会为期3天，聚焦第三代半导体、微纳制造、纳米新材料、纳米大健康等热门领域，开设1场大会主报告、11场专业论坛、344场行业报告、22000平米展览、2场创新创业大赛，包括19位院士在内的300余位顶级专家、行业精英齐聚一堂，新技术、新产品、新成果集中亮相，为大家奉上一场干货满满、精彩纷呈的科技盛会，推出专业论坛、创新赛事、沉浸式游学等系列活动，全方位释放大会红利，推动产业生态建设，共绘美好发展蓝图。

回望过去，寄语未来。展会现场，仪器信息网采访了15位专家、厂商代表，分别谈了各自的与会感受以及他们眼中中国半导体、MEMS、OLED、半导体设备、科学仪器、微流控、封装技术等产业的发展现状和前景展望。