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MOCVD

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品牌

合肥科晶

型号

MOCVD

产地

中国大陆安徽

应用领域

暂无

MOCVD设备将Ⅱ或Ⅲ族金属有机化合物与Ⅳ或Ⅴ族元素的氢化物相混合后通入反应腔,混合气体流经加热的衬底表面时,在衬底表面发生热分解反应,并外延生长成化合物单晶薄膜。

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