近距离蒸发镀膜（ CSS）炉

报价 ¥5万 - 10万

综合评分暂无

仪器对比

品牌

合肥科晶

型号

OTF-1200X-RTP-II

产地

中国大陆安徽

应用领域

暂无

合肥科晶材料技术有限公司

营业执照已认证

金牌会员
第12年
一般经销商

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产品详情

OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸发管式炉，专门针对于用PVD或CSS法来制作薄膜。此款管式炉炉管直径为11" OD，炉管内载样盘可放置3" 的圆形或2"x2"的方形基片。加热元件为两组红外灯管，分别安装在腔体的顶端和底部，其升温速率高达20oC/S 。温控系统为PID30段程序化控制，控温精度为+/-1oC。仪器面板上带有RS485接口，若仪表内配有控温软件，就可将升温程序和曲线导出.

技术参数

真空腔体	腔体为一高纯石英管尺寸： 11" OD x 10.8"ID x 9" H
真空法兰	真空法兰材质为316不锈钢制作顶部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口底部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封，通过真空度可达10-2 torr两个法兰都可以通过手动操作进行上下移动一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可精确测量腔体内真空度（点击图片查看详细资料）
混气系统	可以选择两路的混气系统于此款管式炉搭配使用（本公司生产多路浮子和多路质子混气系统）
加热元件和载样台	由两组IR红外灯管进行加热额定功率800 W 总功率：1600W 为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上一个3"的基片载样台安装腔体顶部紧贴顶部加热元件上安装有一氮化铝基片（3"Dia x0.5mm Thick ），使其仪器使用时样品基片上的温度更加均匀 3"的石墨坩埚可以放在底部加热元件上来盛装蒸发料
热电偶	两个K型热电偶分别安装在上下法兰上
温控系统	两个控温系统都为PID30段程序化控温可以选购PC控温软件，将温度程序设置和温度曲线导入电脑中
工作温度	两个加热区域单独工作的最高温度： <= 650oC 两个加热区域最大温差: <= 350 oC
加热和冷却速率	加热速率: > 8 oC /S 冷却速率: > 10 oC /S ( 600 - 100oC)
电源	208 - 240VAC, 单相, （需20A的空气开关）
可选配件	本公司出售真空泵和水冷系统
质保期	一年质保期终身维护 (不包括炉管、密封圈和加热元件损耗件 )
质量认证	CE