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钨灯丝或六硼化镧
电镜球差校正技术的实用化，使得同时进行超高分辨率观察和超高灵敏度分析成为可能。日立高新技术公司与CEOS公司共同的努力，成功地开发出了新一代扫描透射电子显微镜(STEM)。
HD-2700通过球差校正，用大会聚角获得了亚纳米级电子束，在分辨率和分析性能获得重大的进步。
HD-2700共有三种型号，分别是配有球差校正的高分辨型和标准型，以及无球差校正型，可根据应用需求选择。
特点：
1.高分辨观察
*利用金颗粒保证0.144nm分辨率DF-STEM像（标准型）
2.增加了探针电流(约为非校正的STEM探针电流的10倍)，可以进行高速、高灵敏度能谱分析
*可以在更短的时间内获得元素的面分布图
*检测微量元素成为可能
3.简化的操作
*提供了专用的GUI自动调节球差校正器
4.整体的解决方案
*样品杆与日立FIB兼容，提供了纳米尺度的整体解决方案：从制样到数据获得和最终分析
5.多种评价/分析功能可选
*同时获得和显示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像
*可以配备ELV-2000型实时元素Mapping系统(DF-STEM像可以同时获得)
*实时衍射(DF-STEM像和衍射像可以同时观察)
*低剂量功能可以减少由电子束造成的样品破坏/污染
*可以配备超微柱头样品杆进行三维分析(360度旋转)
*精确的放大倍率校准功能
| 技术指标 | ||
| 项目 | 描述 | |
|
分辨率 (晶格分辨率) |
1、配有球差校正的标准型 0.144nm，电子枪：冷场或热场 | |
| 2、配有球差校正的高分辨型 0.136nm，电子枪：冷场 | ||
| 3、无球差校正型 0.204nm，电子枪：热场 | ||
| 加速电压 | 200KV | |
| 放大倍率 | 100x -10,000,000 | |
|
图像模式 |
图像模式相衬度像(TE像) | |
| 原子序数衬度像(ZC像) | ||
| 电子衍射花样(可选) | ||
| 特征X射线像(可选：EDX) | ||
| EELS像(可选：ELV-2000) | ||
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电子光学 |
电子枪 | 场发射电子源，内置阳极加热器 |
| 透镜系统 | 两级聚光镜、物镜、投影镜 | |
| 球差校正器 | 六极/传输双重（标准型和高分辨型） | |
| 扫描线圈 | 两级电磁线圈 | |
| 电位移 | 0.5μm | |
| 样品杆 | 类型 | 侧插式 |
| 移动范围 | X,Y=±1mm，T=±30°(单倾样品杆) | |
| 操作系统 | Windows XP | |
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