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阴极发光辅助能谱系统
工作原理:
将阴极发光仪固定在光学显微镜的载物台上，通过主控箱控制阴极发光仪的相关操作。通过在真空室的观察窗的位置配备能谱分析探测器附件，然后将探测器与真空室连接，并将探测器连接到电脑上。通过高压电子枪激发样本的阴极X荧光，用探测器探测X荧光，并通过能谱分析软件控制获取能谱图并进行能谱定性和半定量分析。
阴极发光仪辅助能谱系统组装图
1、电脑主机；2、电脑显示器；3、数字脉冲处理器；4、真空样品室；5、探测器；
6、CCD采集系统；7、显微镜；8、探测器附件；9、高压电子枪；10、主控制箱；
11、电源适配器；12、真空泵。
配套特点：
1、20世纪60年代早期，随着电子探针的发展，开始使用特征X射线辐射分析矿物标本。这项工作的一个附属产品是阴极发光观测，并迅速成为一个非常重要的独立研究领域，从而促使电子束源向更简单、显微镜式发展，使用冷阴极作为该电子束源。不会在真空内产生热量，对样品及探头有很好的保护作用。
2、冷阴极基础上的阴极发光仪是能谱分析系统的基础，正如RELIONⅥCL,该类型的电子枪用于阴极发光显微镜的附加装置（CMA）中，是基于冷阴极放电原理，相对电子显微探针（EMP）和扫描电子显微镜(SEM)应用最广泛、简单。
它还提供了一个中和的环境，所以没必要使用具有导电涂层的样品，便于样品制备。电子轰击生成阴极发光的过程中会产生X射线。将X射线检测器用于阴极发光显微镜的附加装置中，结合阴极发光和透光观测，提供了快速元素分析这样一种通用功能。
3、阴极发光仪采用冷阴极的是电子枪，电子枪在冷阴极放电下产生电子束。系统工作气压一般在40到100毫托之间即可，当束流高达1-2mA的时候，电子枪内会产生1到25Kv的电子束。通常高压在8-15Kv时，碳酸盐（岩）、石英、锆石、烃包裹体以及碎硝盐岩等岩石、矿物的阴极发光图像已经非常亮；样品上的散聚焦射束点大约为10mm,散聚焦至点聚焦可以连续可调；能谱采集时可缩小到直径0.5mm或更小。
阴极发光和能谱系统图片
阴极发光上使用的能谱系统,基本的分析功能及其探测范围等都和其他的EDS系统相同，因为它们都依赖于电子光源。RELIOTRON阴极发光设备安装紧凑，同时可以与多种显微镜配套使用来观测阴极发光及EDS图谱，同时用来辅助对预定位置进行的分析，从而在样品测试时可以得到图像、谱线、数据更多信息。
阴极发光仪及能谱系统主要技术参数如下:
真 空 度：最高极限为0.25帕，最大限度保护样品。
电 子 枪：电子枪是一种水平式冷阴极电子束射线型，高达30 KV，通常使用在5 KV至25 KV之间调节。
阴 极 电压：0-30KV，过压保护。
最 佳 电流：0.15-2mA，连续可测，过流保护。
聚 焦：能够散聚焦到点聚焦的调节功能，电子束光斑可根据样品适用要求调节。
探测器类型：硅漂移探测器 (SDD)、尺寸10mm2、硅厚度500μm；(可选)
能量分辨率：最低145 eV（可选）；
信 噪 比: 8200:1
Be窗 厚度： 12.5um、25μm（可选）;
具有以下主要特点：
1：价格实惠。
2：操作的高速性。
3：操作和维护方便和简易。
4：采样准备工作简捷方便。
5：能够保持良好的光学显微镜的各项能力。
6：对于采样的显微照相处理能够方便实现。
7：具备普通透射光（TRL）, 偏振光（POL）, 阴极发光（CL）以及EDS的联合观测能力。
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