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ML7300 远紫外线 光谱仪
♦ 用于软X射线和远紫外线
♦ 易于使用，直接调整光源
♦ 标准平面图像，低杂散光，光学畸变校正
♦ 省时，光栅变化后无需调整
♦ 模块化，利用ML7310真空缝，ML3214相机，ML7320能量监控
器 - 所有设备安装在一起，就可完成测量工具升级
♦ 调整轮(手动控制的狭缝宽度从0 到 400 μm) 和 锁定机制
♦ 根据需求定制
光学规格
| 类型: | 标准平面图像光栅光谱仪 |
| 光学元件: | 像差校正成像反射光栅 |
| 入口: | 2°光栅倾斜调整 |
| 光谱范围: | 1 to 21 nm (多个光栅) |
| 光谱分辨率: | > 600 (取决于光栅，源和探测器的选择) |
| 对象宽度: | app. 237 mm |
| 成像宽度: | app. 235 mm |
| 谱长度: | app. 25 to 30 mm |
| 光谱宽度: | 达到 27 mm (可以根据选择 ML7300真空狭缝进行调整) |
相机大致的对准平面图像的范围；用千分尺调整约50毫米(1 pm at 10 nm)。零阶成像和校准。
机械特性
| 轻型入口法兰: | DN100-ISO-CF |
| 轻型出口法兰: | DN63-ISO (K)F or DN 6.75 inch CF |
| 出 口: | DN16 针孔阀, 内藏的 |
| 泵 法 兰: | DN63 |
| 摆 动: | DN63 |
| HV 兼 容: | 所有材料都是不锈钢和铝，兼容 HV |
| 尺寸规格: | 760 x 430 x 405 mm 3 |
| 重 量: | 大约 36 kg |
锁定千分尺可以进行旋转和倾斜调节，该支点位于平面图像上。
附 件
♦ 按要求对光栅镀金
♦ 附加安装光栅的（建议快速交换光栅，节省调整）
♦ 应用特定的罗珀科学或metrolux的相机
♦ ML7310真空狭缝(使用光谱仪系统选项)
♦ 真空法兰以适应请求的自定义设计
♦ 光栅容易对准校准激光器和狭缝
♦ beamlux II 软件
♦ PC or laptop
♦ 激光同步装置或触发盒子
♦ 工作车高度可调 (900 mm x 750 mm x 800 mm)
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