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■技术参数
分辨率：20nm(30kv,BSE Image)
- 放大倍率:30x ~ 30,000x
- 加速电压:5 ~ 30kV (5/10/15/20/30kV - 5 step)
■图像
背散射电子图像（BSEI），适用于非导体样品
■规格
- 样品移动距离
: X: 20mm, Y: 20mm,
Rotation : 360°
- 最大样品尺寸: 直径50mm
-最大样品厚度: 20mm
■系统结构
- 电子枪: 预对准钨灯丝
背散射电子图像
- 真空泵：
旋转式真空泵100L/min
涡轮分子泵80L/S
抽真空时间2分钟内
■设备主要构成
- 笔记本电脑1台
- 电子扫描显微镜主体一台
- 灯丝5个
- 载物台15mmdia (10pcs/set)
25mmdia (5pcs/set)
15mm45°tilt(5pcs/set)
15mm90°tilt(5pcs/set)
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