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3D通用形貌仪概述
最先进的Rtec Universal Profilometer已经彻底改变了光学轮廓仪。 在加利福尼亚硅谷制造。 它被几个顶级实验室，大学和行业使用。UP-24在一个头上独特地组合了4种成像模式。 单击按钮，成像模式会发生变化。 这种组合可以轻松地对任何表面进行成像 如 透明，平坦，黑暗，扁平，弯曲等。每种成像模式都具有优势，并且所有技术彼此互补。
3D光学轮廓仪组合
●白光干涉仪
●旋转盘共聚焦显微镜
●暗视野显微镜
●明视野显微镜
主要平台规格
产品规格
●标准电动平台150x150mm（可选210x310mm）
●标准转塔，电动转塔可选
●垂直范围可达100mm
●倾斜阶段6度
●XY舞台分辨率0.1um
●自动拼接楷模
●Sigma头 - 仅限白光干涉仪
●Lambda头 - 白光干涉仪+共焦+暗场+明场
应用
●粗糙度 ●体积磨损 ●台阶高度 ●薄膜厚度 ●形貌
测试图像示例
DLC涂层球 粗糙涂层表面 圆球磨斑
金刚石 生物膜 微流体通道
聚合物涂层 墨痕 硬币
研磨垫 铝的失效痕迹 划痕
涂层失效痕迹 芯片通道 晶圆
在同一平台上结合使用多种光学技术，测试仪可以测量几乎任何类型的nm分辨率样品。 该表面光度仪配有功能强大的分析软件，符合多种标准。
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