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非接触式轮廓仪/粗糙度仪
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仪器简介：
Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI（专利技术的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。
技术参数：
(1) 类型： CCI 干涉（相干相关干涉）
(2) 分辨率： 0.1 A
(3) 测量点数： 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )
更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。
主要特点：
•专利的相干相关算法
•0.01nm分辨率
•10-20秒测量时间
•RMS重复性：0.03A
Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI（专利技术的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。
技术参数：
(1) 类型： CCI 干涉（相干相关干涉）
(2) 分辨率： 0.1 A
(3) 测量点数： 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )
更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。
主要特点：
•专利的相干相关算法
•0.01nm分辨率
•10-20秒测量时间
•RMS重复性：0.03A
Talysurf CCI白光干涉表面轮廓仪信息由泰勒-霍普森有限公司为您提供，如您想了解更多关于Talysurf CCI白光干涉表面轮廓仪报价、型号、参数等信息，泰勒-霍普森客服电话：400-860-5168转0917，欢迎来电或留言咨询。
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