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仪器简介：
德国Klocke Nanotechnik公司生产的纳米级三维测量仪(3D Nanofinger)俗称纳米三坐标，是一种实用的纳米精度坐标和形貌综合测量设备。由台架、控制系统、探头、针尖组成. 可测量样品外形尺寸，表面轮廓、粗糙度等，并可与超精密微加工、微组装系统组合，进行在线检测、质量控制等。系统拥有5个自由度，可以根据样品设定测量路径，测量范围达到厘米级甚至更大。现已广泛应用于超精密机械加工、MEMS器件、半导体微电子加工、光学、分子生物学和精密工程。
技术参数：
设备主要参数：
测量范围:
X = 10, 20 or 50 mm
Y = 10, 20 or 50 mm
Z = 10 or 20 mm
采用花岗岩基底，XY方向行程扩展为： 100 x 100 mm2 or 350 x 350 mm2
测量特性：
运动分辨率： 1 nm
针尖分辨率： 0.5 nm
水平与竖直方向均配有操纵传感器
线形轮廓测量
样品内部与外部轮廓测量
坐标测量功能
测量用探针:
针尖型金属丝, 尖端半径 < 100 nm
钩型金属丝, 尖端半径< 100 nm
圆形针尖, 直径 0.12-0.3 mm
金刚石针尖, 如用于表面压痕
软件：
针尖自动校准与逼近
2D 和 3D 图形功能
分析软件
自动化模块选项（序列发生器）
可选择的配置:
小型花岗岩平台式3D-Nanofinger
便携式3D-Nanofinger
3D-Nanofinger 模块，如集成到CNC机床内部
适合电镜中安装的3D-Nanofinger 模块
可安装到多功能检测工作台中
附件:
纳米精度自动旋转平台
摄像机
图形识别系统
主要特点：
1.纳米精度测量，而且是三维方向都可保持统一的精度。
2.测量量程跨越纳米到厘米,甚至分米级。
3.多功能多参数测量设备，可以涵盖三坐标、轮廓仪、形貌仪、粗糙度仪等的功能。
4.用户可以设定测量路径，这样就能沿着样品形状进行测量。适合复杂轮廓测试。
5.配合多种不同功能的探针，可以完成一般轮廓仪无法进行的结构测量。特别是结构内部。
6.用户可以根据需要灵活设置测量方法，可以进行大面积精确测量，也可以先进行大面积低精测量，然后对特定感兴趣的区域进行高精测量，以节省时间。
7.整个过程非接触的，间距可以保持在可以设定为几个纳米。适合各种固态样品测量，对材料性质没有特别要求和限制。
8.布局灵活，根据用户测试要求组成合适的系统。平台可以任意组合，探头也以改变安装方向。
9.如果和微加工设备组合，可以实现在线测量。
1年
是
无
无
无
无
无
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