HARTS-8型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法家标准并参考美 A.S.T.M 标准而的,于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的仪器。
仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果。
仪器采用了电子行、装配。具有能选择直观、测量取数快、度、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、等院校对半导体材料的电阻性能测试。
术 标 :
测量范围
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电阻率:10-5~105 Ω.cm(可扩展); 方块电阻:10-4~106 Ω/□(可扩展); 电导率:10-5~105 s/cm; 电阻:10-5~105 Ω; |
可测晶片直径
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140mmX150mm(配S-2A型测试台); 200mmX200mm(配S-2B型测试台); 400mmX500mm(配S-2C型测试台); |
恒流源
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电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档,各档电流连续可调 |
数字电压表
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量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV; 输入阻抗:>1000MΩ; 度:±0.1% ; 显示:四位半红色发光管数字显示;性、量程自动显示; |
四探针探头基本标
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间距:1±0.01mm; 针间缘电阻:≥1000MΩ; 机械游移率:≤0.3%; 探针:碳化钨或速钢Ф0.5mm; 探针压力:5~16 牛顿(总力); |
四探针探头应用参数
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(见探头附带的合格证) |
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87行) |
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
整机测量相对误差
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(用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±5% |
整机测量标准不确定度
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≤5% |
计算机通讯接口
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并口,速并行采集数据,连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5 秒(在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程档时)。连接电脑使用时带自动测量 能,自动选择适合样品测试电流量程; |
标准使用环境
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温度:23±2℃; 相对湿度:≤65%; 无频干扰; 无强光直射; |
产品介绍:
主要用于检查空气中各种气体的含量。配合气体检测管使用。
配套使用检测管的方法及优势:
1、用砂片稍用力将检测管两端各划圈割印。
2、用硅胶管套套住检测管上的箭头所端,沿切割印掰断,用同样方法掰断另端。
3、用硅胶管套套住检测管上的箭头所端(防止漏气),插入所要检测标注的气体通道口上(稍用力插紧)。注意方向性,箭头方向代表气体流过方向。
4、将所需检测的若干项的检测管,按以上方法均插好之后,接通电源,即可正常使用。
5、调节所需检测气体对应的时间控制器,使其符合标(见附表)。
6、检测结束,拔出检测管。
7、手持检测管箭头朝下,并垂直于地面放在与目光基本不平的位置,观察管上颜色变化所刻度,既为被检测气体的浓度。
(1)双重优点:测量气体的检测管实际是将化学分析方法仪器化,是种定量、定性、定值的检测方式,具有化学分析和仪器分析的双重优点。
(2)适应性好:检测管现有Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ三种,从零点到几个PPM(10-6)到百分之几十,适用范围很大,为分析作提供了很大方便。
(3)操作简便:为专业检验人员提供了很大的方便,操作人员按照使用说明书操作方法行测试即可。
(4)使用安:使用时手动操作,无需要电源、热源,在有易燃易气体存在的场所能安使用。
(5)分析速度快:由于操作方便,使得每次分析所需时间大为缩短,般仅需十几分钟即可得知结果,其分析速度是何化学分析和仪器方法不能比拟的。
(6)测量度:在检测管含量标度的确定上模拟了现场分析条件,采用不同标准气标定,克服了化学分析中易带入的方法误差。同时减少了人为误差。
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