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VELA 3 是TESCAN最新推出的一款聚焦离子束显微镜,以高品质,完全计算机控制,用户友好界面为基础的系列产品.具有使用方便,产品质量稳定,分析高效为特点的独创设计。该型号样品台行程大，可承受最大样品重量甚至可达10Kg，是现有样品台可载重最大的扫描电子显微镜。使用于航空航天，汽车配件，发动机等事业单位和研究单位，其超大的样品室和载重可为您带来无可比拟的便捷，使得对一些不方便进行切割等处理的样品的观察成为可能。
U型为高低可变真空，H型为高真空电镜
LM型为大样品室，XM为超大样品室，GM为超级样品室
1.独有的四透镜大视野光学（Wide Field Optics™）和Tescan特有可优化电子束光阑的中间镜设计，提供了多种工作模式和显示模式。
2.选配了气体注入系统。
3.镜筒内没有需要机械对中结构，取而代之的是容易操作和保养的固定光阑。
4.以电磁的方式改变有效物镜光阑——中间镜起到“光阑转换器”的作用。
5.高吞吐量/自动取域。例：自动颗粒定点分析。
6.出众的电动载台设计，支持能谱仪（EDX），波谱仪（WDX），背散射电子衍射仪（EBSD）。
7.由于使用了强力的涡沦分子泵和机械真空泵，因而可以快速简单得到干净的真空样品室。
8.完善的显微镜自动设置包括电子光路设置和对中。
9.网络操作和内置的远程监控/诊断是Tescan的标准配备。
10.强大的自动功能:全自动真空控制,灯丝自动加热,自动电子枪校正 (Auto gun alignment),改变加速电压，自动补偿偏压,改变电子束大小，
自动调整电子束大小,依据讯号/噪声比自动调整扫描速度,自动对比/亮度调整,自动聚焦,自动调整像差等。
11.完全自动的软件安装.
12.强大的图象处理功能,使用专业的电镜控制软件,图像抓取,加工,处理和分析;
I.影像显示尺寸
1)实时图像显示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024等3种方式。
2)储存图像显示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096,8192x8192等9种方式。
3)同时可选择正方形、4x3长方形、2x1长方形等3种尺寸。
4)可同时显示任意张实时影像或储存影像。
II.扫描速度：从160ns/图素到10ms/图素，可阶级式或连续式的调整。
III.聚焦窗口：可连续式调整聚焦窗口的大小和位置。
IV.动态聚焦,点&线扫描
V. 图像处理(Image processing)：提供锐化(Sharpening)﹐自动对比调整(Auto Contrast)﹐去噪声
化(Noise Reduction)等15种图像处理功能。
VI.量测功能：提供量测任意两点的距离，量测任意夹角，不规则形状的面积和周长，划指示箭头，写说明文字等13种图像量测的功能
VII.图像存盘：
1).浏览已储存图像的相本。
2).找寻已储存图像的数据库系统。
3).报告产生及从程序中直接打印。
4).实时或储存的图像均可处理。
13.卓越的分析品质;
1)选择目标区域：以灰阶及彩色为起始点-针对选择的区域着色及量测。
2)3D扫描：可通过各探头的配合，显示真实的三维图象。
3)硬度分析：以Vickers式硬度或Brinell式硬度标准来测量分析样品。
4)多图片校正：可以校正其它电镜拍摄的照片的放大倍数。
5)打印放大倍数：调整显示屏以及打印输出时放大倍数差异。
6)关机时间设定：可以设定第一次自动关机时间。
7)公差
可选配软件
8)形态学：该软件可对样品图片进行自动分析，测量和分类。其图片来源可以是显微镜，数码相机等。
9)颗粒度分析：可以对多区域内的样品进行自动测量，分析和分类（不过分析样品必须在扫描窗口内）。该软件结合形态学软件使用，功能更加完善。
10)自动连续截图
11)样品观测
12)鼠标连接：安装该软件后，可以用SEM的鼠标控制其他连接的设备的鼠标进行操作。
技术参数：
聚焦离子束高真空钨灯丝扫描电镜 VELA 3 XMH
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分辨率（SEM) 高真空(二次电子) (背散射电子) 分辨率（FIB) |
3nm(30kV),8nm(3kV)/ 选配 六硼化镧 2nm(30kV),5nm(3kV) 3.5nm(30kV) Canion系列： <5nm(30kV)；Cobra系列：<2.5nm(30kV) |
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工作真空 离子枪真空 |
<5×10-6 Pa |
| 电子光学工作模式 | 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 |
| 放大倍率 | 1x-1,000,000x(SEM);150x-1,000,000x(FIB) |
| 加速电压 | 200V至30KV(SEM);0.5KV至30KV(FIB) |
| 电子枪 | 钨灯丝(SEM);液态金属镓离子源(FIB) |
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探针电流(SEM) 探针电流(FIB) |
1pA至2μA(SEM) Canion系列：1pA至40nA； Cobra系列：1pA至50nA |
| 扫描速度 | 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整 |
| 聚焦窗口 | 形状、尺寸和位置连续可调 |
| 扫描特性 | 动态聚焦，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像 |
| 图象尺寸 | 最大可达8192×8192象素，图象比例可选1：1、4：3或2：1 |
| 显微镜控制 | 通过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作VELA TC软件，所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现 |
| 自动程序 |
专利的实时电子束追踪技术自动最优化电子束，根据放大倍数优化束斑(BI OptiMag)，自动聚焦&消象散，自动调整对比度&亮度，自动调整扫描速度（根据信噪比），自动调整饱和电流，电子枪合轴，透镜&光阑对中，真空控制，加速电压的补偿，灰度级调整
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| 远程控制 | 通过TCP/IP |
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聚焦离子束可变真空扫描电镜 VELA 3 XMU
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聚焦离子束可变真空扫描电子显微镜 VELA 3 GMU
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主要特点：
国内首家使用中文操作界面的电镜厂商
1.系统实现了电子束和离子束的共聚焦，有气体注入系统;
2.可以提供四种观察影像模式:分辨率模式;景深模式;视野模式;大视野模式,很方便寻找样品位置;倾斜电子束模式
3.独创的低真空二次电子探测器(LVSTD).
4.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品;
5.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵，FIB电子枪部分使用离子泵，抽真空速度快,在更换样品后,三分钟内就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却.
6.采用气垫减振系统
7.先进的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能.
8.完善的自动功能，能帮助您更快更好的获取图片
9.9个以上外扩展接口.
10.可进行远程控制
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