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英国Taylor高精度3D表面形貌和膜厚测量光学轮廓仪
Taylor Hobson是世界知名的精密测量仪器制造商，其产品用于研究和生产机构中的检测工作。我们的设备能够达到纳米级别的分辨率和准确度。
功能特点:
无与伦比的光学干涉测量技术
◆ 非压电陶瓷闭环Z轴扫描控制，2.2 mm扫描范围
◆ 整个扫描范围内达到 0.1 的分辨率
◆ 2048 x 2048像素阵列可获得高分辨率的大视场
◆ 0.3% - 100%的表面反射率均适用
从实质上消除测量的不确定性
◆ RMS重复性小于0.2埃，台阶高度重复性小于 0.1%
◆ FEA 优化机械设计，具备出色的R&R能力
◆ 采用ISO标准的校准，确保结果的可信度
◆ 自动设置功能界面，消除操作员和样品的多变性
追求长期成本效益的坚固耐用设计
◆ 非压电Z轴扫描控制可省去昂贵的维修费用
◆ 自动表面检测可防止撞坏镜头
◆ 内置自我诊断工具可快速、轻松地排除故障
◆ 操作的简便性可减少使用者出错可能
64 位控制和分析软件
◆ 多语言支持可简化与全球合作伙伴间的沟通
◆ 兼容大多数计算机平台，有利于开展合作性研究项目
◆ 提供多种新工具，包括3D表面随时间演变过程中进行 4D分析
◆ 根据多批次测量数据自动生成报告
高分辨率
◆ CCI HD采用2048 x 2048的像素阵列图像传感器，比起像素阵列仅为 640 x 480，对横向分辨率构成极大限制的 VGA 视频摄像机技术，其优越性十分突出。可实现对较大区域的测量，而不会因视场的扩大而导致操作复杂或潜在的失真风险,快速测量
◆ 视场更大意味着设置步骤更少、检测速度更快，对设备和操作员的利用率也更高。无需增加额外费用，就可以检测更多部件、检测更完整和更详细，成本效益得到极大提高
自动表面检测
◆ 自动条纹发现可免去手动设置的麻烦，结束因错误识别样本表面而重新测量的历史，使检测结果得到显著改善。与常规的需要平面或光滑表面来进行自动对焦不同，这种创新性的软件与光学技术组合能够自动、快速地检测所有类型的表面。
自动设置扫描范围
◆ 借助我们独家的自动量程功能，可根据样本表面自动设置最佳扫描范围，从而显著缩短测量时间。手动设置扫描范围往往是一种猜谜游戏，通常会导致扫描过度、测量时间延长等现象，即便技术最熟练的操作员也常常被弄得焦头烂额。
应用:
◆ 薄膜厚度
◆ 晶圆粗糙度
◆ 医疗植入物
◆ 厚膜厚度
◆ 材料研究
◆ 汽车喷油器
◆ 第一代太阳能电池
◆ 数据存储
◆ 曲轴抛光
◆ 第二代太阳能电池
◆ 抛光光学器件
◆ 润滑油厚度
◆ LED
◆织纹钢
◆轴承粗糙度
◆ MEMS
◆ 金刚石车削
◆ 纸/碳粉
干涉物镜:
具备标准的 2048 x 2048 像素摄像机
技术参数:
| 放大倍数 | 视场 | 光学分辨率 | 采样分辨率 | 陡度 | 工作距离 | 数值孔径 |
| 2.5x | 6.6 x 6.6 | 4.07 | 3.3 | 3.5 | 10.3 | 0.075 |
| 5.0x | 3.3 x 3.3 | 2.35 | 1.65 | 6 | 9.3 | 0.13 |
| 10x | 1.65 x 1.65 | 1.02 | 0.83 | 14 | 7.4 | 0.3 |
| 20x | 0.825 x 0.825 | 0.76 | 0.415 | 19 | 4.7 | 0.4 |
| 50x | 0.33 x 0.33 | 0.4-0.6 | 0.165 | 27.7 | 3.4 | 0.55 |
| 100x | 0.165 x 0.165 | 0.3-0.5 | 0.0823 | 33.3 | 2 | 0.7 |
系统:
◆测量类型 3D非接触式（400万个数据点）
◆测量模式 相干相关干涉法。
◆Z 轴扫描 超高精度闭环无压电扫描控制
◆视场 最高达 6.6mm x 6.6mm（取决于物镜）
◆光源 白光光源（提供LED选件）
◆物镜塔台 三位式塔台
◆测量阵列 2048 x 2048
◆分析 软件 - Talymap 分析软件
性能:
◆纵向扫描范围(Z) 标准2.2 mm (>50 mm Z拼接)
◆纵向分辨率[最高] 0.01 nm [0.1 ?]
◆噪音水平(Z) <0.02 nm [0.2 ?] 1
◆表面 RMS 重复性(Z) <0.02 nm [0.2 ?] 2
◆最大测量区域(X, Y) 6.6 mm (>100 mm X, Y 拼接)
◆测量点数量 标准2048 x 2048
◆光学分辨率(X, Y) 0.3 微米 (使用 100x 物镜)
◆台阶高度重复性 <0.1%
◆表面反射率 <0.3% - 100%
载物台:
◆元件大小(最大) X 和 Y = 150 mm; Z = 100 mm
◆元件重量(最大) 10 kg
◆自动X-Y坐标台(中) 112 x 75 mm
◆自动X-Y坐标台(大) 150 x 150 mm
◆手动倾斜(标准) +/- 4 度
系统尺寸:
◆总体尺寸(占地面积) 530 mm 宽 x 530 mm 深 x 850 mm 高
◆温度(放置) 10 - 50°C
◆温度(操作) 15 - 30°C
◆温度梯度 < 1°C / 小时 (达到最佳测量能力)
◆湿度 < 70% 无凝露
◆振动 防振作为标准功能提供
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