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德国LMTECH激光干涉平面度快速测量机
德国LMTECH测量技术有限公司成立于1996年，采用掠入射光干涉原理，专注于高精密加工表面平面度快速测量评估, 广泛应用于航空航天，汽车工业喷油嘴行业，泵、阀门密封件表面，以及光学工程，激光工程等领域。
产品特点：
◆非接触式平面度测量接触
◆高精密评估: ＜0.4μm
◆测量速度快: ＜3秒
◆可用于车间现场, 100%全检
◆平面度评估符合ISO/TS12781-1(FLTt)
◆三维形貌评估软件, 可支持CNC编程批量检测
◆表面自动识别系统, 或手动指定区域(圆, 圆环, 矩形区域)评估
◆数据采集量大, 一次完成对300,000点的评估
◆快速生成报告并保存为.csv数据格式, 支持Q-das等统计分析软件
◆广泛应用于抛光, 研磨或细磨精密表面, 像阀门盘, 密封环等
技术参数：
| 型 号 | TOPOS 50 | TOPOS 100 |
| 测量范围(直径) | 50mm | 100mm |
| 参考平面平面度 | 优于0.06μm | |
| 参考面材料 | 石英玻璃 | |
| 灵敏度 | 0.5,1,2或4μm每纹 | |
| 精度 | (0.1?-0.4)um + 2%x测量值, 基于灵敏度 | |
| Z轴波动范围 | 低于100um, 表面斜度所限制 | |
| FLTt重复性 | 优于0.01μm1) | |
| 分辨率 | 优于0.01μm | |
| 数据采集量 | 300,000点 | |
| 测量时间 | 小于2s | |
| 整体尺寸 | 560mm X 300mm X 400mm | 680mm X 440mm X 880mm |
| 重量 | 34kg | 80kg |
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