Tescan新型高分辨场发射扫描电镜 （MAIA3）
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Tescan新型高分辨场发射扫描电镜 （MAIA3）

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仪器对比

品牌

泰思肯

型号

MAIA3

产地

欧洲捷克

应用领域

暂无
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广州贝拓科学技术有限公司

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2013年TESCAN推出了 MAIA3 场发射扫描电子显微镜，该仪器具有出色的高分辨性能，并擅长在低加速电压下的观察及相关分析。MAIA融入了许多电子光学设计实现了在50V的电压下依然保持出色的性能。模块化的设计可满足特定应用需求的定制要求。


超高分辨率可变真空场发射扫描电镜MAIA 3 LMU
 分辨率
 高真空(二次电子)
 低真空(背散射电子)
 1.0nm(15kV),1.8nm(1kV),2.5nm(500V)
 2.0nm(15kV) 
 工作真空
 低真空模式
 枪体真空
  7-500Pa
 <3×10-7Pa
 电子光学工作模式 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
 放大倍率 1×-1000000×连续可调
 加速电压 200V至30kV(选配50V至30kV）
 电子枪 高亮度肖特基
 探针电流 2pA至200nA
 扫描速度 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续可调
 聚焦窗口 大小和位置连续可调
 扫描特性 动态聚焦，聚焦窗口，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像
 图象尺寸 最大可达8192×8192象素，图像比例可选1：1、4：3或2：1
 显微镜控制 能过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作Mira TC软件，所以显微镜的功能均可 在WindowsTM平台下实现。
 自动程序 独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径，真空控制，电子枪合轴，光阑&透镜对中，加速电压改变的补偿，最优化束斑大小和探针电流，最优化放大倍率和束斑大小，扫描速度，高度和对比度，聚焦和消像散，灰度等级调整。
 远程控制 TCP/IP
 样品室
 内部尺寸 230mm
 门宽 148mm
 接口数量 11+
 样品室减振方式 内置主动式电磁减振
+ 可根据客户需求调整接口数量和位置。
 样品载台
 类型 全电脑化优中心
 

 移动范围		 全马达驱动控制方式:
X=80mm－－马达驱动 
Y=60mm－－马达驱动
Z=37mm－－马达驱动
旋转:360°连续可调－－马达驱动
倾斜:-80°到+80°－－马达驱动
 样品高度 最大135mm



超高分辨率场发射扫描电镜MAIA 3 LMH
 分辨率
 高真空(二次电子)
 低真空(背散射电子)		  
1.0nm (15kV),1.8nm (1kV),2.5nm(500V)
 /
 工作真空 
 低真空
 枪体真空		   
 /
<3×10-7Pa
 电子光学工作模式 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
 放大倍率 4×-1,000,000×连续可调
 加速电压 200V至30kV(选配50V至30kV）
 电子枪 高亮度肖特基
 探针电流 2pA至200nA
 扫描速度 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续可调
 聚焦窗口 大小和位置连续可调
 扫描特性 动态聚焦，聚焦窗口，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像
 图象尺寸 最大可达8192×8192象素，图像比例可选1：1、4：3或2：1
 显微镜控制 能过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作Maia TC软件，所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现。
 自动程序 独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径，真空控制，电子枪合轴，光阑&透镜对中，加速电压改变的补偿，最优化束斑大小和探针电流，最优化放大倍率和束斑大小，扫描速度，高度和对比度，聚焦和消像散，灰度等级调整。
 远程控制 TCP/IP
  样品室
 内部直径 230mm
 门宽 148mm
 接口数量 11+
 样品室减振方式 内置主动式电磁减振
 + 可根据客户需求调整接口数量和位置。
 样品载台
 类型 全电脑化优中心
 
 移动范围		 全马达驱动控制方式:
X=80mm－－马达控制 
Y=60mm－－马达控制
Z=37mm－－马达控制
旋转:360°连续可调－－马达控制
倾斜:-80°到+80°－－马达控制
 样品高度 最大71mm



超高分辨率肖特基场发射扫描电镜 MAIA 3 GMU
 分辨率
 高真空(二次电子)
 低真空(背散射电子)
 1.0nm(15kV),1.8nm(1kV),2.5nm(500V)
 2.0nm(15kV) 
 工作真空
 低真空模式
 枪体真空
 7-500Pa
 <3×10-7Pa
 电子光学工作模式 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
 放大倍率 1×-1000000×连续可调
 加速电压 200V至30kV(选配50V至30kV）
 电子枪 高亮度肖特基
 探针电流 2pA至200nA
 扫描速度 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续可调
 聚焦窗口 大小和位置连续可调
 扫描特性 动态聚焦，聚焦窗口，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像
 图象尺寸 最大可达8192×8192象素，图像比例可选1：1、4：3或2：1
 显微镜控制 能过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作Mira TC软件，所以显微镜的功能均可 在WindowsTM平台下实现。
 自动程序 独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径，真空控制，电子枪合轴，光阑&透镜对中，加速电压改变的补偿，最优化束斑大小和探针电流，最优化放大倍率和束斑大小，扫描速度，高度和对比度，聚焦和消像散，灰度等级调整。
 远程控制 TCP/IP
 样品室
 内部尺寸 340mm 宽 × 315mm 深
 门宽 340mm 宽 × 320mm 高
 接口数量 20+
 样品室减振方式 内置主动式电磁减振
+ 可根据客户需求调整接口数量和位置。
 样品载台
 类型 全电脑化优中心
 

 移动范围		 全马达驱动控制方式:
X=130mm－－马达驱动 
Y=130mm－－马达驱动
Z=100mm－－马达驱动
旋转:360°连续可调－－马达驱动
倾斜:-80°到+90°－－马达驱动
 样品高度 最大135mm



超高分辨率肖特基场发射扫描电镜MAIA 3 GMH
 分辨率
 高真空(二次电子)
 低真空(背散射电子)		  
1.0nm (15kV),1.8nm (1kV),2.5nm(500V)
 /
 工作真空
 低真空
 枪体真空		   
 /
<3×10-7Pa
 电子光学工作模式 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
 放大倍率 4×-1,000,000×连续可调
 加速电压 200V至30kV(选配50V至30kV）
 电子枪 高亮度肖特基
 探针电流 2pA至200nA
 扫描速度 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续可调
 聚焦窗口 大小和位置连续可调
 扫描特性 动态聚焦，聚焦窗口，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像
 图象尺寸 最大可达8192×8192象素，图像比例可选1：1、4：3或2：1
 显微镜控制 能过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作Maia TC软件，所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现。
 自动程序 独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径，真空控制，电子枪合轴，光阑&透镜对中，加速电压改变的补偿，最优化束斑大小和探针电流，最优化放大倍率和束斑大小，扫描速度，高度和对比度，聚焦和消像散，灰度等级调整。
 远程控制 TCP/IP
  样品室
 内部尺寸 340mm宽 × 315mm深
 门宽 340mm宽 × 320mm高
 接口数量 20+
 样品室减振方式 内置主动式电磁减振
 + 可根据客户需求调整接口数量和位置。
 样品载台
 类型 全电脑化优中心
 
 移动范围		 全马达驱动控制方式:
X=130mm－－马达控制 
Y=130mm－－马达控制
Z=90mm－－马达控制
旋转:360°连续可调－－马达控制
倾斜:-80°到+90°－－马达控制
 样品高度 最大135mm



超大样品室高分辨高真空场发射扫描电镜MAIA 3 XMU
 分辨率
 高真空(二次电子)
 低真空(背散射电子)
 1.0nm(15kV),1.8nm(1kV),2.5nm(500V)
 2.0nm(15kV) 
 工作真空 
 低真空模式
 枪体真空
 7-500Pa
 <3×10-7Pa
 电子光学工作模式 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
 放大倍率 1×-1000000×连续可调
 加速电压 200V至30kV(选配50V至30kV）
 电子枪 高亮度肖特基
 探针电流 2pA至200nA
 扫描速度 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续可调
 聚焦窗口 大小和位置连续可调
 扫描特性 动态聚焦，聚焦窗口，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像
 图象尺寸 最大可达8192×8192象素，图像比例可选1：1、4：3或2：1
 显微镜控制 能过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作Mira TC软件，所以显微镜的功能均可 在WindowsTM平台下实现。
 自动程序 独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径，真空控制，电子枪合轴，光阑&透镜对中，加速电压改变的补偿，最优化束斑大小和探针电流，最优化放大倍率和束斑大小，扫描速度，高度和对比度，聚焦和消像散，灰度等级调整。
 远程控制 TCP/IP
 样品室
 内部尺寸 285mm 宽 × 340mm 深
 门宽 285mm 宽 × 320mm 高
 接口数量 12+
 样品室减振方式 内置主动式电磁减振
+ 可根据客户需求调整接口数量和位置。
 样品载台
 类型 全电脑化优中心
 

 移动范围		 全马达驱动控制方式:
X=130mm－－马达驱动 
Y=130mm－－马达驱动
Z=100mm－－马达驱动
旋转:360°连续可调－－马达驱动
倾斜:-30°到+90°－－马达驱动
 样品高度 最大135mm



超高分辨率肖特基场发射扫描电镜MAIA 3 XMH
 分辨率
 高真空(二次电子)
 低真空(背散射电子)		  
1.0nm (15kV),1.8nm (1kV),2.5nm(500V)
 /
 工作真空
 低真空
 枪体真空		   
 /
<3×10-7Pa
 电子光学工作模式 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
 放大倍率 4×-1,000,000×连续可调
 加速电压 200V至30kV(选配50V至30kV）
 电子枪 高亮度肖特基
 探针电流 2pA至200nA
 扫描速度 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续可调
 聚焦窗口 大小和位置连续可调
 扫描特性 动态聚焦，聚焦窗口，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像
 图象尺寸 最大可达8192×8192象素，图像比例可选1：1、4：3或2：1
 显微镜控制 能过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作Maia TC软件，所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现。
 自动程序 独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径，真空控制，电子枪合轴，光阑&透镜对中，加速电压改变的补偿，最优化束斑大小和探针电流，最优化放大倍率和束斑大小，扫描速度，高度和对比度，聚焦和消像散，灰度等级调整。
 远程控制 TCP/IP
  样品室
 内部尺寸 285mm宽 × 340mm深
 门宽 285mm宽 × 320mm高
 接口数量 12+
 样品室减振方式 内置主动式电磁减振
 + 可根据客户需求调整接口数量和位置。
 样品载台
 类型 全电脑化优中心
 
 移动范围		 全马达驱动控制方式:
X=130mm－－马达控制 
Y=130mm－－马达控制
Z=90mm－－马达控制
旋转:360°连续可调－－马达控制
倾斜:-30°到+90°－－马达控制
 样品高度 最大135mm

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