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E2600系列准分子激光微加工系统
Excimer Micromachining System
E2600系列准分子激光微加工系统是应用于工业领域的紫外激光加工系统。该产品系列选用193 nm、248 nm的准分子激光器作为加工主体，对于高分子材料、石英、金刚石等透光材料有极好的去除效果，并将热效应降至最低，使加工精度可以达到微米量级，不产生热影响区和微裂纹。
产品采用集成化软件控制，在可视化窗口可以实时观测加工区域以及加工效果，所见即所得。系统全部硬件都由统一界面进行全程控制，集成度高。该产品面向工业生产线应用，适用于不同的工业应用领域，特别是在眼睛树脂镜片的防伪标识、钻石的腰线标刻、蓝宝石镜面以及其他光学镜片的标刻等方面，
有很好的效果。
特点：
1. 紫外激光加工
2. 无热效应，无微裂纹
3. 1μm级分辨率
4. 加工速度快
5. 适用于高分子材料、玻璃、陶瓷等
6. 集成化软件控制
应用范围：
1. 选择性去除聚合物
2. 微型钻孔\开槽
3. 微流体
4. 激光烧蚀进样系统
5. 树脂镜片防伪标识
6. 钻石、珠宝标刻
7. PCB打孔及微加工
紫外激光的加工原理：
紫外激光属于纳秒脉冲激光，当紫外激光能量辐照在材料上时，由于紫外的波长短，激光束中单光子能量比材料的分子键能高，会直接破坏材料的化学键，使材料碎片以小颗粒或者气态的方式排出，从而达到剥离去除材料的目的。
优势一：大部分激光能量被用于切断化学键，极少被转化为热能，再加上激光作用时间极短，因而加工过程中产生的热影响区很小，乃至忽略不计。
优势二：这种加工方式无接触、切口窄、无热影响区，因此在微加工过程中不易产生残余应力、断片、边部碎屑与显微裂纹等缺陷。
总之，紫外脉冲激光具有加工精度高，加工效果良好的特点，逐渐成为广泛应用的一种微加工技术。
高速加工：
本机采用300 Hz、500 Hz、1000 Hz的准分子激光器，单脉冲能量最高可达18mJ。由于激光器采用专利的预电离技术，脉冲宽度可以实现4～6 ns，使峰值功率大大提高，具有极高的加工速度和完美的加工效果。
机器视觉：
由于采用集成化软件对系统所有硬件进行控制，客户可以实现所见即所得。应用高清晰度的CCD作为成像元件，并采用自动聚焦的机器视觉系统，客户可以根据软件界面所显示的区域进行加工设置，并能够直接看到加工效果。
集成化软件：
自主研发的集成化软件，可以方便地控制系统工作参数和监控工作状态。客户可以自主设计所需加工图样，并生成加工文件。软件驱动系统硬件全自动化进行加工过程，并全程可视。
1．可视化编程
2．用户界面友好、直观
3．支持BMP、DXF、STL文件格式
4．所见即所得，轨迹预览
参数指标：
机械部分
XY行程 | 200 x 200 mm |
加工速度 | 20- 200 nm/ 脉冲 |
机器视觉 | 1920 x 1080 pixs |
样品夹具 | 专用加工样品夹具 |
主机
功率消耗 | 单相，600 W，220 V，50 Hz |
外形尺寸 | 1200 x 900 x 500 mm |
重 量 | 800 Kg |
环境要求 | 温度15- 35℃，湿度10- 70% |
准分子激光器
波长 | 193 nm | 248 nm | 308 nm |
单脉冲能量 | 8 mJ | 18 mJ | 10 mJ |
脉冲宽度 | 4- 6 ns | ||
重复频率 | 300 Hz，500 Hz ，1000 Hz | ||
光斑大小 | 4 x 6 mm | ||
关于准分子激光器
本系统采用小型准分子激光器作为加工光源，波长193 nm，248 nm，308 nm可选。该激光器的专利预电离技术可以使脉冲宽度缩短到 4– 6 ns，使加工能力有明显提高。
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