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快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。
RSO-200快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用,适用于样品尺寸大、但是退火温度不太高的样品。
仪器特点:
- 最高工艺温度:650摄氏度;
- 加热区域:200mm x 170mm;
- 高性价比;
参考用户:
中电13所等。
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Sindin
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