仪器对比
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仪器特点：
腔体材料：不锈钢，铝，或者Bell Jar；
分子泵：70，250，500 l/sec； 一级泵：机械泵或干泵；
13.5MHz, 300-600W射频电源；1KW直流电源；
QCM在线厚度测量，厚度分辨率<0.1nm；
带有观察窗的门，方便样品取放；
Labview软件，PC控制；
多重密码保护；
全安全互锁设计；
选配功能：
向上，向下，侧向溅射；
射频，直流、脉冲直流溅射；
共溅射，反应溅射；
组合溅射；
射频、直流偏置(1000V)；
基底加热：不高于700摄氏度；
厚度监控；
基底射频等离子清洗；
Load-Lock，以及自动样品取放；
不同型号选择：
NSC系列，立式磁控溅射系统；
NSC系列，立式紧凑磁控溅射系统；
NSC系列，台式磁控溅射系统；
双腔体系统，NSR系列，磁控溅射+反应离子刻蚀(RIE)；
双腔体系统，NSP系列，磁控溅射+PECVD；
双腔体系统，NST系列，磁控溅射+热蒸发；
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