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热蒸发镀膜机 - 极高性价比！
型号：EasyDEP
产地：韩国原装进口
仪器特点：
1/ 沉积材料：金属；
2/ 膜厚均匀性：≤ ± 5 % (4英寸基底)；
3/ 沉积方式：热蒸发舟；
4/ 极限真空：5.0 x 10 -6 Torr；
技术规格：
1/ 最大样品尺寸：6英寸；
2/ 基底旋转：0~10rpm；
3/ 不锈钢腔体，ID250 x H300 mm；
4/ 真空泵：机械泵，150L/Min；扩散泵，215L/Sec；
5/ 薄膜厚度监控：石英振荡传感器实时厚度控制；
6/ 厚度精度：0.5%；
7/ 热蒸发源：4英寸热蒸发舟，交流电源；
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