仪器对比
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钨灯丝
3.0nm(30kV)
2~1,000,000倍
200V~30KV连续可调
仪器简介：
VEGA 3 LMU/LMH是TESCAN推出的扫描电子显微镜系列,以高品质,完全计算机控制,用户友好界面为基础的系列产品.具有使用方便,产品质量稳定,分析*为特点的独创设计.
1.的四透镜大视野光学（Wide Field Optics™）设计，该设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了Tescan特有可优化电子束光阑的中间镜设计。
2.成像速度快。
3.镜筒内没有需要机械对中结构，取而代之的是容易操作和保养的固定光阑和内衬管设计。
4.以电磁的方式改变物镜光阑，中间镜起到光阑转换器的作用。
5.高吞吐量/自动取域。例：自动颗粒定点分析。
6.出众的电动载台设计，支持能谱仪（EDX），波谱仪（WDX），背散射电子衍射仪（EBSD）。
7.由于使用了强力的涡沦分子泵和机械真空泵，因而可以快速简单得到干净的真空样品室。
8.完善的显微镜自动设置包括电子光路设置和对中。
9.网络操作和内置的远程监控/诊断是Tescan的标准配备。
10.强大的自动功能
11.完全自动的软件安装
12.强大的图象处理功能,使用专业的电镜控制软件,图像抓取,加工,处理和分析;
I.影像显示尺寸
1)实时图像显示尺寸：共有3种方式。
2)储存图像显示尺寸：共有9种方式。
3)同时可选择正方形、4x3长方形、2x1长方形等3种尺寸。
4)可同时显示任意张实时影像或储存影像。
II.扫描速度：从20ns/图素到10ms/图素，可阶级式或连续式的调整。
III.聚焦窗口：可连续式调整聚焦窗口的大小和位置。
IV.动态聚焦,点&线扫描
V. 图像处理(Image processing)：提供15种图像处理功能。
VI.量测功能：提供13种图像量测的功能
VII.图像存盘：
1).浏览已储存图像的相本。
2).找寻已储存图像的数据库系统。
3).报告产生及从程序中直接打印。
4).实时或储存的图像均可处理。
13.*的分析品质;
主要特点：
国内*使用中文操作界面的电镜厂商
1.电磁式电子枪自动对中;
2.可以提供五种观察影像模式:分辨率模式;景深模式,视野模式;大视野模式,Channeling模式，很方便寻找样品位置;
3.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品;
4.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵,抽真空速度快,在更换样品后,三分钟就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却.
5.采用气垫减震系统
6.*的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能.
7.11个外扩展接口.
8.可对SEM进行远程控制
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