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高精度压电移动平台( ＸＹ方向)
该移动平台可以给市面上的各类显微镜提供了超高精度定位方案。该平台可以工作在高真空和大气环境。线性差分传感器可以读取和控制各个轴向上的超高精度移动。正交定向运动可以稳固定位在纳米尺度上 。覆盖范围标准是20×20mm2（可根据要求提供其它尺寸），速度范围从8毫米/秒到几分之一纳米。这提供了几乎无限制的应用范围。
这个平台极其紧凑的设计允许结合几个层次的小平台。一个微处理控制器可以控制高达12个3轴移动平台。如需进一步扩展，可以建立使用集成的CAN总线，同时可运行多达30个移动平台（每个X，Y和Z轴） - 例如，控制机器人和微型机器人技术。
这里描述的移动平台很容易适应所有扫描电镜，FIB，光学显微镜，原子力显微镜等。
移动平台的典型应用，生物技术，DANN-和细胞研究，新材料，碳纳米管（CNT），半导体（集成电路）等:
1）在视觉及显微镜下的超高精度样品定位控制
2）微操作和机器人技术，配合使用夹持器，镊子，注射器等，
3）失效分析或电学相关的探针检测技术等。
Materials | Aluminium, Stainless Steel, Ceramics |
Dimensions in mm (L x Bx H) | ? 40 x 40 x 22 (XY-Modul) Weight: ~80g.
? 40 x 54 x 35 (XYZ-Modul) Weight: ~100g. |
Coverage inmm | 20 x 20 (XY-Modul)
20 x 20 x 20 (XYZ-Modul) |
Positioning accuracy | < 100 nm |
Movement resolution | < 1 nm |
Speed range | 8000 μm/sec.– 0,001 μm/sec. |
Position measurement | Linear Encoder |
Controller | Microprocessor controller,Joystick,PC-Software |
Housing | 19“ |
Max. numberof modules per rack | 12 |
Extensions | per CAN-Bus; max. 30 crosstables (XYZ each) |
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