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定量电子束感生电流测试系统
The Quantitative EBIC System
简述
定量EBIC系统提供了测量和分析的许多功能。它包含一个EBIC测量电子部件,一个EBIC控制器,一个用于EBIC测试的特殊样品架,法兰和软件。EBIC控制器反馈电子束的扫描控制。从而可以在SEM图像上显示EBIC图像。
相应的软件提供了很多功能,如灰度分析,线扫描,单点测试,EBIC实时分析等等。
参数
EBIC测量系统,处理传入的EBIC信号以及将放大后将信号发送到成像系统。根据样品,最小的真实分辨率可以小于10 pA。有三个工作模式:1)EBIC;2)补偿高基本信号;3)束流测量(外部)。它包括一个电流源,用于补偿和归零。电压是±-10V。
EBIC控制器是用于定量EBIC测定的最重要的部分。它是一个功能强大的扫描发生器,其能够控制电子束从而使EBIC信号与电子束扫描吻合。它有4个模拟信号输入(SE,BSE,CL)和12位计数器输入。支持USB 2.0接口。
EBIC软件具备信号显示,TV扫描,线和点的测量,粗区域扫描,AVI录制,并同时记录SE-和EBIC图像等图像采集的标准功能。针对图像处理提供像半自动测量,电流等密度图和图像混合功能。该软件直接显示了EBIC电流在图像中的分布。所有的扫描参数,EBIC校准电流值等,都可以保存该文件(16位TIF图像文件)中。定量EBIC测量选项允许在EBIC测量电子时直接通过该软件对所有参数进行调整。该软件与Windows兼容2000 / XP/ Vista和Windows7(86,64)。
EBIC 样品台以及法兰
样品台上的样品是和显微镜的其余部分隔绝开的。这样可以使得EBIC测量独立于环境,实现噪声最小化。旁边的法拉第杯具有可变孔,可精确测量电子束电流。它还包含一个简单的手动针式夹持器,实现安全连接。接触针的运动可以用两个螺钉来调整。连接到样品的是双层屏蔽三轴电缆。带有气闸或者前置放大器的版本可选。法兰提供两个独立的电气接口。
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探针模块(精度10纳米)
低温台(液氮或液氦),半导体加热/冷却模块
主要指标参数
EBICmeasurementElectronic
Dimensions(L×W×H) | app.235×290×90mm3 |
inputs | 4×analogue, 12×counter |
interface | USB2.0 |
resolution | max.16384×16384pixels |
Controller
Dimensions(L×W×H) | app.250×110×60mm3 |
realresolution | <10pA |
adjustablebiasing | +/- 10V |
I/U-converter | 107V/A |
gainadjustment coarse | ×1/10/100/1000 |
gainadjustment fine | ×0.1...1 |
signaloutput | 1Vss |
options included | signalinversion,adjustablelow pass filter, current source |
other outputs | DC,AC(for Lock-Inamplifier), SC (for picoampmeter) |
EBICSpecimenHolder
manualmovements (vertical, forward,angular,) |
5mm×5mm, ±15° |
includedaccessory | 10needles, 1aperture |
other availableoptions (notincluded) | air lockoption
embeddedpreamplifier |
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