半导体加热器( -25°C to +50°C (at 3mbar))或(-50°C to +100°C)
半导体加热器模块(适用于扫描电镜)
该半导体加热模块可以被安装到扫描电镜样品台上像个样品一样。该模块内部的新型温度交换器结构,使得温度变化非常迅速以及准确。 通过PID控制器,最小能够控制到1/10℃。
快速连接,几秒钟内就可以完成安装和拆卸。不需要更换法兰馈通。
由于其独特的内部设计,样品电流测量也可以在加热/冷却实验时来完成。
半导体模块可以配合标准样品夹具或用夹具夹住样品。
这种半导体加热系统可以独立使用,软件可以集成到大多数SEM操作系统中。
规格参数
温度范围 -25°C to +50°C (at 3mbar with ambient at 20°C)
X 可扩展温度范围 -50°C to +100°C !
X 温度精度 ± 1°C
X 显示分辨率 0,1°C
X 温度稳定性 ± 0,1°C
X 加热或冷却的速率 30°C per minute !
X 具备样品电流测量能力
X 包含PID 控制器
X 接口 RS 232, USB, etc.
X 软件环境适用于绝大部分的电镜系统
X 可独立使用 X 快速安装连接 X 总控系统 (pnp)
相关产品