型号 EMP20/25
应用 EMP20/25 用于0.5~100(500)mm量块的检定。
测量方式 直接测量
测量装置 电感式测头和高分辨率激光测头或增量式测头(直接测量范围 20/25mm)相结合,对量块进行对比及绝对测量。
软件 具有强大的测量及数据管理功能,高效、经济。
优点:
l 最大可能的节省了重新标定的费用:只需要8/10个参考标准,进行零位校准。
l 节省大约50%测量时间
l 单轴测量范围适合100~500mm的量块。
l 自动测量程序。
l 友好的测量软件,构架于WINDOWS 2000 操作系统。
l 检测时可选择国家标准及自定义检测标准。
概诉:
普通比较测量,在重新标定方面花费比较多,使用者必须拥有较多的检定标准量块。综上所述,这是在检定时间方面的一个极度的耗费,革新的技术,使用大范围的测头,使测量范围由±20μm到20/25mm,当测量分辨率达到0.01(0.001) μm,单程测量范围20/25mm是可以做到的。定义测量参考点,e.g 测量标准量块和设置被测量长度。对于设备的线性误差,系统误差,软件可对其进行自动补偿。
性能及参数:
增量式测头
直接测量范围: 25mm(1 in)
测量系统:使用heidenhain的DIADUR工艺光栅尺和零膨胀编码器
a=(0±0.1)*10-6K-1
分辨率:0.01(0.001) μm
测量不确定度:(0.03+L/1000)μm
测力:1N
测头: 特殊球面 R=20
EMP 25
分辨率:0.01(0.001) μm
测量不确定度:(0.05+L/1000)μm
重复性:0.03μm
使用温度:20℃±0.5K
温度变动量:0.2K/h
激光测头:
直接测量范围:25mm(1 in)
测量系统:HE-NE激光真空波长自动补偿系统
波长:632.8nm
分辨率:0.01(0.001) μm
测量不确定度:(0.03+L/1000)μm
测力:1N
测头: 特殊球面 R=20
EMP20:
分辨率:0.01(0.001) μm
测量不确定度:(0.05+L/1000)μm
重复性:0.03μm
使用温度:20℃±0.5K
温度变动量:0.2K/h
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