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钨灯丝
3nm
X10~X300,000
200v ~ 30Kv
技术指标：
外形尺寸（mm）：
-- 主机：600（W） x 623（D） x 1350（H） 135kg
-- 机械泵：454（W） x134（D） x 212（H） 22kg
电源：
-- 220V，50Hz ，1KW
电子光学
-- 分辨率：3nm@ 30kv 二次电子像
-- 放大倍数：X10~X300,000
-- 加速电压：200V ~ 30KV
-- 电子枪：三极自动偏压，预对中钨灯丝阴极
-- 电磁对中器：四极电磁式
-- 电磁透镜：两级聚光镜，一级物镜，
-- 物镜光阑：四位可变光阑（20/20/50/100）μm
-- 扫描光栅：电位移 ±50μm ； 电旋转，360°
-- 消像散器：八极电磁式
图像探测器：
-- ET-型 二次电子探测器
-- 背散射电子探测器（可选）
样品室：
-- 可接能谱仪、波谱仪、阴极荧光等多种探测器
样品台：
-- 五轴自动机械对中样品台，
-- 行程： X，40mm； Y，40mm；Z，5-45mm；倾斜，-20°~90°；旋转,360°
-- 最大样品尺寸：直径96mm ，高度50mm
真空系统：安全逻辑阀，全自动控制真控系统，高真空时间小于3分钟
-- 涡轮分子泵
-- 旋片式机械泵
-- 高真空度：7.5E-3Pa
-- 低真空模式：10~100Pa （可选）
扫描模式：
-- 选区模式：320x240 像素，可用户定义
-- 慢扫描模式： 800x600像素
-- 照相模式：最大3200x2400像素
控制系统：
-- 基于Win8，USB接口，GUI专用操作软件，键盘鼠标控制模式
-- 自动控制功能：自动聚焦，自动亮度对比度，自动电子枪偏压，自动电子枪对中
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