功能特点 |
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液氮系统可将样品冷却到-190°C取决于泵功率和热块尺寸 |
系统包括一台泵、一个杜瓦瓶、一个带塞子的盖子(用于在操作期间重新填充)和连接管 |
提供三种液氮泵输出选项,LN2-P2、LN2-P4和LN2-P8,它们通过设备吸入液氮,并由mK2000控制 |
三种杜瓦瓶尺寸,2L、10L和30L,带有易于再填充的盖子选项,以控制仪器的液氮供应 |
与mK2000 PID控制器集成±0.1%分辨率 |
*可做定制或改动,详询上海恒商 |
技术规格 | |||
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| LN2-P2 | LN2-P4 | LN2-P8 |
冷热台 | |||
HCS302 / 302G / 402 | -100℃ | -190℃ | -190℃ |
HCS321Gi | -60℃ | -80℃ | -190℃ |
HCS621G / 421V | -160℃ | -190℃ | -190℃ |
HCS622G / 422V | -100℃ | -190℃ | -190℃ |
FS1 | NA | -60℃ | -190℃ |
CLM77K / CLM77Ki | NA | -190℃ | -190℃ |
晶圆夹盘&冷热平板 | |||
10mm 正方形或圆形 | -40℃ | -60℃ | -120℃ |
150mm正方形或圆形 | -20℃ | -40℃ | -100℃ |
200mm正方形或圆形 | NA | -30℃ | -80℃ |
300mm正方形或圆形 | NA | -20℃ | -60℃ |
HCC602正方形或圆形 | -120℃ | -170℃ | -190℃ |
*可做定制或改动,详询上海恒商 |
其他 2015-08-31
1年
是
有
按客户需求人数培训
1年校准1次
非人为损坏免费维护
2小时内响应
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