产品简介 |
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HCP421V-PM可单独使用,也可搭配显微镜/光谱仪使用。其可在 -190℃ ~ 400℃ 范围内控温,同时允许探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔,亦可内充入氮气等保护气体,来防止样品在负温下结霜,或高温下氧化。 |
功能特点 |
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迷你温控探针台,可用于 显微镜/光谱仪 |
-190℃~400℃ 可编程控温(负温需配液氮制冷系统) |
28 mm x 30 mm加热区 |
可抽真空的腔体,亦可充入保护气体使用 |
BNC接口四探针,手动点针 *可选三同轴接口,用于pA级测试 |
可选增设腔内接线柱(样品接电引线) |
可从温控器或电脑软件控制,可提供软件SDK |
*可做定制或改动,详询上海恒商 |
温控参数 | |
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温度范围 | -190℃ ~ 400℃(负温需配液氮制冷系统) |
传感器/温控方式 | 100Ω铂RTD / PID控制(含LVDC降噪电源) |
加热/制冷速度 | +80℃/min (100℃时),-50℃/min (100℃时) |
加热/制冷速度 | ±0.01℃/min |
温度分辨率 | 0.01℃ |
温度稳定性 | ±0.05℃(>25℃),±0.1℃(<25℃) |
软件功能 | 可设温控速率,可设温控程序,可记录温控曲线 |
电学参数 | |
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探针 | 默认为铼钨材质的弯针探针 *可选其他种类探针 |
探针座 | 杠杆式探针支架,点针力度更大,电接触性更好 |
点针 | 手动点针,每个探针座都可点到样品区上任意位置 |
探针接口 | 默认为BNC接头,可选三同轴接口 *可增设腔内接线柱(样品接电引线) |
样品台面电位 | 默认为电接地,可选电悬空(作背电极),可选三同轴接口 |
非磁性改造 | 台体可改用非磁性材质制造,用于变温霍尔效应探针测试 |
光学参数 | |
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适用光路 | 反射光路 *另有透射光路型号 |
窗片 | 可拆卸与更替的窗片 |
物镜工作距离 | 8.5 mm *截面图中WD |
透光孔 | 台面默认无通光孔,可增设通光孔以支持透射光路 |
上盖窗片观察 | 窗片范围φ38mm,视角±60.7° *截面图中θ1 |
负温下窗片除霜 | 吹气除霜管路 |
结构参数 | |
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加热区/样品区 | 28 mm x 30 mm |
样品腔高 | 6.3 mm *样品厚度由探针决定 |
放样 | 打开上盖后置入样品再点针,关上盖后无法移动探针 |
气氛控制 | 可抽真空的腔体,亦可充入保护气体使用 |
外壳冷却 | 可通循环水,以维持外壳温度在常温附近 |
安装方式 | 水平安装 或 垂直安装 |
台体尺寸/重量 | 180 mm x 130 mm x 27 mm |
半导体 2021-02-25
1年
是
有
按客户需求人数培训
1年校准1次
非人为损坏免费维护
2小时内响应
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