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原子力声学显微镜是基于福朗霍夫非破坏性测量研究所(Saarbrucken,Germany)Walter Arnold教授的工作研制的。Hirsekorn等精辟地描述了常规的AFM与AFAM之间的差别。在常规AFM中，当扫描材料表面时，悬臂（cantilever）振动，样品和仪器顶端产生力。而在AFAM 中，一个声学调制器被放在样品的下面，产生垂直和水平的振动。系统利用悬臂产生的屈曲和扭转，基于样品局部的弹性、粘性和摩擦性质产生图象。这种分析类型叫做接触共振光谱学（contact resonancespectroscopy），并同时产生拓扑结构光谱和AFAM图象。NT-MDT网站上有动画来解释真实的实验以及衍生出来的图象和测量结果。
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