小型双炉体滑动管式炉TCVD--OTF-1200X-S2-50SL
报价 ¥5万 - 10万
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OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的双炉体滑动管式炉，炉管为Φ50×1400mm的石英管，并配有不锈钢密封法兰，仪器最高温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动，实现对原材料的蒸发/升华，及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热，最大升温速率为100℃/min.同时可选择电动滑轨、质量流量计（MFC）控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。
技术参数
炉体结构 |
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总功率 | 2.5KW |
电压 | AC 208-240V 单相, 50/60 Hz, （需要20A的空气开关） |
最高工作温度 | 1200℃ |
连续工作温度 | 1100℃ |
加热&冷却速率 | 加热速率: 15°C/sec (RT - 150°C); 10°C/sec (150°C - 250°C); 7°C/sec (250°C - 350°C); 4°C/sec (350°C - 500°C); 3°C/sec (350°C - 550°C); 2°C/sec (550°C - 650°C); 1°C/sec (650°C - 800°C); 0.5°C/sec (800°C - 1000°C);冷却速率:15°C/sec (1000 - 950°C);10°C/sec (950°C - 900°C);7°C/sec (900°C - 850°C);4°C/sec (850°C - 750°C);2°C/sec (750°C - 600°C);1.5°C/sec (600°C - 500°C);1°C/sec (500°C - 400°C);0.5°C/sec (400°C - 300°C);注意: 最大加热和冷却速率是通过炉体滑动来实现的，将炉体加热到目标温度，然后滑动炉体到样品位置来实现快速加热。对样品加热后，滑动炉体，使样品暴露在加热区外，来实现快速冷却
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加热区长度 | 每个炉体的加热区为200mm |
恒温区 | 60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C) |
加热元件 | 掺钼铁铬铝合金 |
炉管 |
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温度控制系统 |
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真空法兰 |
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滑轨长度 | 1200mm |
真空度 |
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可选 |
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尺寸 | 1500 x 380 x 620 mm（炉体＋滑轨） |
净重 | 约80kg |
质保期 | 一年质保期，终身维护（不包括炉管、密封圈和加热元件） |
质量认证 |
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使用注意事项 |
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