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产品名称:
?InP上镀InGaAs薄膜?半绝缘 进口料(InGaAs?EPI?on?InP,Semi-insulating)
常规尺寸:
dia 2"
InP晶向:
<100>
掺杂类型:
掺Fe ;半绝缘型
电阻率:
>1x10^7)ohm.cm
InP EPD:
<1x10^4 /cm^2
薄膜参数:
Lattice matched In/Ga alloy layer of N-type InGaAs(Si-doped)
薄膜Nc:
>2x10^18 /cc
薄膜厚度:
0.5 um (± 20%)
生长方法:
MOCVD deposition
抛光:
双面抛光
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