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精密液体气相发生器是针对实验室CVD实验中导入液体的系统，其液体流量是通过数字液体泵来控制，最大流量为80ml/min，精确度为0.005ml。液体被蠕动泵导入到混气系统后，被系统里的加热装置加热成蒸汽，然后随导入的气体被带入到炉管中。本机能够导出多种液体，如ETOH、SnCl4、 TiCl4R、SiHCl3和Zn（C2H5）2，以及多种有机物混合。对于研究用CVD方法生长纳米线和薄膜是极佳的研究设备。
产品型号 | 精密液体气相发生器 |
主要特点 | 1、流体和气体在一个316不锈钢罐中加热。 2、采用30段程序化控温。 3、气体流速通过浮子流量计控制。 4、配有压力表，可测出液气混合罐中的气体压强。 5、配有两个不锈钢针阀，以控制气体进出。 6、可与本司所有管式炉和CVD系统相连接。 7、已通过CE认证。 |
技术参数 | 1、电源：单相AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率：1000W 3、蠕动泵：精确度±0.02%FS，流量0-80ml/min（可调） 4、最高工作温度：300℃ 5、控温精度：±1℃ 6、浮子流量计：0-2000ml/min（可调） 7、出气口：外径1/4″ |
产品规格 | 尺寸：350mm×335mm×300mm；重量：5kg |
| 可选配件 | 加热带（缠绕在外接的管道上，以保证液体蒸汽在传输过程中不会液化。）
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