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进口
1.3 x 1.8 mm
0°-40°
低能量100 eV～ 2 keV/高能量～10 keV
全自动离子束减薄系统
用于TEM / XTEM样品制备
产品制造国
匈牙利
样品类别
TEM / XTEM样品
产品特色
穿透减薄+表面清洁一机两用,快速自动样品交换系统
产品参数
※离子枪
聚焦高能量离子枪:～10 keV
(或选配聚焦超高能量离子枪:～16 keV)
聚焦低能量离子枪:100 eV～ 2 keV
※样品台
电动样品台倾斜角度 0-40°
计算机控制连续平面旋转360°，摇摆 ±10° 到 ±60°
可装载样品厚度(30 - 200 μm)
※监测成像系统
高分辨率CMOS彩色相机，可视化监测减薄过程和自动结束，手动变焦50-400x放大倍数
※计算机控制系统
内嵌式工业级计算机，直观式用户操作界面和图像分析模块
完全自动控制离子发生源，自动样品置换
可事先编程铣削参数用于自动制备，也可手动设定各种参数
※真空系统
薄膜泵及涡轮泵的普发真空系统，搭配Pirani/Penning真空计，达到无油式真空抽气系避免样品污
染
※供气系统
99.999% 纯度氩气，电动针阀高精度控制工作气体流量
特制压力调整泵，电子监控输出压力，通过电动针阀高精度控制气流
应用实例
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