主要技术参数:
一、技术参数
1、分辨率:5nm (30kV, SE Image)
2、放大倍率:14x~100,000x
3、加速电压 :
1kV to 30kV (5 kV/10 kV/15kV/20kV/30 kV-6 step)
二、图像
1、二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image
2、观测模式 : 标准模式
三、电子枪系统
1、灯丝类型:预对中钨灯丝
2、偏压系统:自动偏压方式
3、 电子枪校正:手动方式
四、透镜构成
1、聚光镜 : 2段式磁线圈透镜
2、物镜 : 1段式磁线圈透镜
五、探测器类型
E-T Detector
六、载物台系统
1、5轴操控
2、- X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360° - Z : 0~35mm / Tilt-axis : 0~45°
3、Image shift: X, Y Image Shift 150?(±75?)
4、样品最大尺寸 :
80mm in diameter, 35mm in height
七、图像扫描速度
1、快速扫描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)
2、低速扫描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)
3、图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)
4、图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)
八、自动功能
1、自动启动,自动聚焦,自动亮度对比度调节
2、智能软件系统,图像自清晰功能
3、自动可调式对焦,全方位校准系统
九、图像存储方式
1、 BMP, JPEG, PNG
十、数据显示
1、 放大倍率,探测器类型,电压,真空模式,文本,标尺等
十一、:简单易用的导航模式,可视化操作窗口
十二、真空系统...
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