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FE-5000椭圆偏振光测量仪
纳米级的薄膜膜厚测量
·非接触非破坏实现多层膜的解析
材料表面光学常数（折光率、消光系数）测量
·可求得膜厚以及光学定数的波长分散
（膜厚，折射率，消光系数，tanΨ、cosΔ）
·提供膜厚管理膜质管理有用的信息
通过400ch以上的多通道光谱法，迅速测量椭圆光谱
·可实现一分钟以内的高速测量
·光谱点多，所以坡度大的椭圆光谱也可正确测量
利用多波长光谱仪实现高精度高感度测量
测量反射角度可变，对应薄膜的高精度解析
可对应特制解析的材料物性和多层膜的高度评价
·利用多层膜fitting解析的光学常数测量实现了膜厚膜质管理
·利用有效媒质近似（EMA）可测量复素折射率的波长分散，混合结晶的混合比，界面的厚度等。
·利用各种光学常数函数和膜model解析，可对应薄膜界面等材料物性评价
·通过光学常数数据基础化和菜单登陆功能，改善了操作性
应用范围：
·FPD（LCD,PDP,FED,有机EL）
·半导体（a-Si,poly-Si等）
·复合半导体（半导体激光，强电介质）
·数据储存（DVD,HDD,磁气头)
·光学材料（膜，防反射膜）
·膜（AR膜）
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