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PHL 映射椭偏仪

报价 ¥100万 - 200万

品牌

Photonic Lattice

型号

ME系列

产地

亚洲日本

应用领域

暂无

高速映射测量可实现每分钟 1000 个点以上的测量。此外,通过更改测量模式,可以在高清模式下以20μm方形或更小的水平分辨率进行测量。可以用一个单元测量从整个晶片分布到微小区域分布。

分钟内完成晶圆全厚度测量 ◆每分钟 1000 点以上(广域模式)

微区测量  ◆方形以下、毎分1000 点以上微信图片_20210928091036.png微信图片_20210928091501.png

售后服务

1年

1人

免费维护

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