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高速映射测量可实现每分钟 1000 个点以上的测量。此外，通过更改测量模式，可以在高清模式下以20μm方形或更小的水平分辨率进行测量。可以用一个单元测量从整个晶片分布到微小区域分布。
◆分钟内完成晶圆全厚几度测量 ◆每分钟 1000 点以上（广域模式）
◆微区测量 ◆方形以下、毎分1000 点以上
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有
1人
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