第1部分:系统及指标描述
1、总体规格
尺寸:650mmW*650mmD*1500mmH(含支架)
自重:约80Kg
2、结构与特点
(1)真空腔体:真空度优于6×10-4Pa。降温后优于6×10-5Pa。留有2个用户法兰接口(可接入气体或者额外的电缆)
(2)探针控制:标配4个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm,调节精度优于10um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆
(3)显微镜模块:连续变倍单筒显微镜,光学放大倍率:1.4X~9X(使用1X附加物镜时),视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头,带同轴照明和环形照明,带机械调焦和光学调焦
(4)变温样品台:50mm直径。变温范围:80K~400K。控温稳定性优于±0.02K
(5)可选配接入光纤,可将一根或几根电学探针替换为光纤
(6)系统直流漏电低于1pA
3、含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪
4、设备照片(因配置不同,照片仅供参考)
第2部分:真空低温探针台系统配置
- 探针台真空腔主体(50mm,4探针臂,含流量调节杜瓦)
- 铁制抗震支架
- 进口分子泵机组(Edwards T-Station 85,含全量程真空规、隔震块)
- 视频显微镜(含LED光源、调节支架、高清摄像头与高清显示器)
- Triax低噪声线缆
- 10um探针
- 智能温控仪PicoFemto SmartT
- 备用各规格螺丝(套)
- 安装与现场培训
以上就是关于真空低温探针台配置介绍,如果需要详细了解请致电:
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