日本JEOL大功率电子枪/电源 JEBG系列
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日本JEOL大功率电子枪/电源 JEBG系列

报价 ¥400万 - 500万

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仪器对比

品牌

暂无

型号

EBG-300UA，JEBG-1000UB，JEBG-3000UB

产地

亚洲日本

应用领域

暂无
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产品详情

日本JEOL，大功率电子枪/电源，EBG-300UA，JEBG1000UB，JEBG3000UB


 

JEBG系列大功率电子枪是在真空中蒸发或熔解金属及氧化物的大功率电子束发生源，能在不断输送中的宽幅塑料和大面积玻璃基板上高速率地连续镀膜，此外在电子束熔炼时，可用于高熔点金属锭的生产及提纯。

 

产品规格：

型号

EBG-300UA

JEBG-1000UB

JEBG-3000UB

最大输出功率

30kW

(20kV, 1.5A)

100kW

(30kV, 3.4A)

300kW

(40kV, 7.5A)

最大偏转角

±30°

扫描范围

X, Y 轴

最大扫描频率

300Hz

200Hz

200Hz

(300Hz: 选配)

适用电源

ST-30BE2

JST-100C

JST-300CHR

 

产品特点：

· JEBG系列大功率电子枪是在真空中蒸发或熔解金属及氧化物的大功率电子束发生源，能在不断输送中的宽幅塑料和大面积玻璃基板上高速率地连续镀膜，此外在电子束熔炼时，可用于高熔点金属锭的生产及提纯。

· 电子束能大范围地快速扫描，通过专用の控制装置和软件，能生成各种电子束照射图形和区域。由于能够在各个照射位置上设定扫描、停留时间、输出功率及电子束形状，因而能够控制熔融面和膜厚分布。

 

  • 用途

· 真空蒸镀

· 阻隔膜、保护膜、电极膜、导电膜、磁性膜等薄膜的形成。

· 真空熔解

· 生产和提炼Ti、Ta、Nb、 Mo等高熔点金属锭。

· 提炼太阳能电池多晶硅

 


售后服务

1年

否

无

免费安装及技术培训

6个月一次。

经确认质量问题，免费更换。

24小时内到达现场并开始维修

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