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日本Nikon 6英寸分步重复光刻机NSR 1755i7B

报价 ¥300万 - 400万

品牌

暂无

型号

NSR 1755i7B

产地

亚洲日本

应用领域

暂无
产品详情

日本Nikon 6英寸分步重复光刻机NSR 1755i7B

 

技术指标及功能
 

把掩膜版上的图形按照一定的比例缩小复制到涂布有光刻胶的晶圆上,分区域进行步进式曝光。本机台可用于125mm×125mm掩模和φ100mm及150mm的晶圆高精度投影曝光,曝光精度可达500nm。

 

基本指标

 

1. RESOLUTION:0.5μm
2. LENS DISTORTION:≤0.9μm
3. RETICLE ALIGNMENT ACCURACY:≤0.02μm
4. STEPPING ACCURACY:≤0.08μm
5. OVERLAY ACCURACY:≤0.15μm(X,Y)
6. OPEN FLAME(MAX. EXPOSURE AREA):17.5×17.5mm 


售后服务

1年

免费安装及技术培训

6个月一次。

经确认质量问题,免费更换。

24小时内到达现场并开始维修

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日本Nikon 6英寸分步重复光刻机NSR 1755i7B 信息由深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于日本Nikon 6英寸分步重复光刻机NSR 1755i7B 报价、型号、参数等信息,蓝星宇客服电话:400-860-5168转4527,欢迎来电或留言咨询。

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