国产
1
1
8500
100
350
技术参数及要求:
基片尺寸:Φ5-Φ100mm 圆片,ZUI大100×100mm2 方片
转速:250-9000RPM
旋涂设置:任意阶段之间均可任意升降调节
转速稳定性:<±1%
旋涂均匀性:<1%
旋涂工艺阶段:6 段
旋涂时间:单步工艺0-1800s,可根据客户需求调节
整机尺寸(长宽高):210mm×280mm×248mm
裸机尺寸(长宽高):210mm×280mm×155mm
电机功率:40W
适应材料:硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料
配套无油真空泵参数:
型号:KW-550A/KW-550T
抽速:1.5 升/秒
功率:320W
噪音:50db
ZUI低真空度:-700mmHg
重量:7.3Kg
尺寸(长宽高):240mm×160mm×230mm
抽气速率:>60L/min
1年
否
无
电话或者微信技术培训
3月1次
质保一年
24小时回电
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