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WSMS - 晶圆表面测量系统

报价 ¥10万 - 30万

品牌

PVA Tepla

型号

WSMS

产地

欧洲德国

应用领域

暂无

Munich Metrology提供了最先进的,完全整合的VPD测量系统。该WSMS包括前缘的VPD,气相分解,最先进,精密的化学品输送系统,自动提供所需的所有集成的ICP-MS分析的校准的化学品VPD和所有的化学物质样品采集系统系统。它是一台用计算机控制的系统,接受远程命令,并通过SECS / GEM工厂自动化接口提供的测量结果实时在一个完整的测量系统。该WSMS的优点包括:
• 全自动
• 最低的检出限制
• 更快地取得测量结果
• 实时操作过程
• 通过精密,无错,加药,稀释,混合和传递到两个VPD和ICP-MS的操作精确测量
• 无需人工较准, 降低成本
Utilities Dimension
Power : 220/110 V, 2.2 kW
DI water : 1.5 bar (20 psi), 2 l/h
Nitrogen : 1.5 bar (20 psi), 0.7 m3/h
Exhaust : 50 m3/h
Drain Depth : 1507 mm
Width : 2065 mm
Height : 2140 mm
Table Top : 945 mm
Weight : 1100 kg

售后服务

1年

1人次免费技术培训

定期维护

保修期内无认为损坏,免费更换零件

48小时内到达现场

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