PVA&Tepla SIRD(原名Jena Wave) Scanning Infra-Red Depolarization 非接触式内应力检测系统
主要原理:
Wafer 下方有一个激光源,激光通过偏光器变成水平方向的一束激光透过wafer,被样品上方的Photo Diodes 接收,若wafer 无应力,激光会直接透过wafer 而不会发生任何改变,相应的P 则不会接收到任何信号,对应的数值为0,最后得到的D 值为0,说明样品内部无应力,若wafer 内部有应力,则激光的光束会变成椭圆形,再被分光镜分光,这时P 就会接收到相应的信号,最后算出的D 值则大于0,说明样品内部有应力。
主要应用:
由于wafer 内部的应力会导致产品在后续的工艺过程中产生缺陷,所以需要在wafer 制作时,或者在wafer 出货到fab 厂时,量测wafer 内部的应力,确认是否可以出货,或者用于后续的工艺过程,SIRD 用于monitor 产品各个工艺过程中产生的内部的应力,确认机台何时需要更换parts,或者需要检修,减少缺陷,提高产品良率。
应用实例:
1年
是
有
1人次免费技术培训
定期维护
保修期内无认为损坏,免费更换零件
48小时内到达现场
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