Microlab
型号:Microlab-1/Microlab-2/Microlab-3/Microlab-4/Microlab-5
核心参数
曝光模式:步进式曝光、扫描式曝光
产地类别:中国
光源:355 nm/LD405/LED405(选配)
运动平台:直线电机150mmX150mm
图形发生器:0.55英寸(1024X768)/0.95英寸(1920X1080)推荐
幅面尺寸:4-6英寸基板
数据分辨率:0.5um/0.25um/0.1um
套刻对准精度:±0.5um
*规格参数因具体工艺差异有所不同
240天
1年
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24小时内
是
3天内
是
是
是
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