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苏大维格激光直写光刻机

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品牌

苏大维格

型号

Microlab

产地

中国大陆江苏

应用领域

暂无

投影式

国产

0.5um

LED405nm,960mw;LD405nm,100mw;DPSSL 355nm,800mw(选配)

150mmX150mm(选配)

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Microlab.png

Microlab

型号:Microlab-1/Microlab-2/Microlab-3/Microlab-4/Microlab-5

核心参数

曝光模式:步进式曝光、扫描式曝光

产地类别:中国

光源:355 nm/LD405/LED405(选配)

运动平台直线电机150mmX150mm

图形发生器0.55英寸(1024X768/0.95英寸(1920X1080)推荐

幅面尺寸:4-6英寸基板

数据分辨率:0.5um/0.25um/0.1um

套刻对准精度:±0.5um

*规格参数因具体工艺差异有所不同


售后服务

240天

1年

安装调试现场免费培训

到货后7天内

24小时内

3天内

先付款后维修

不支持

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